Susceptor MOCVD le Cumhdach TaC

Déantar Susceptor Semicorex MOCVD le Cumhdach TaC as graifít a roghnaíodh go cúramach, a roghnaíodh as a chuid airíonna eisceachtúla chun ardfheidhmíocht agus marthanacht a chinntiú. Tá cáil ar graifít mar gheall ar a seoltacht theirmeach agus leictreach den scoth, chomh maith lena chumas na teochtaí arda is gnách do phróisis MOCVD a sheasamh. Is í príomhghné an tSochaid MOCVD seo ná a sciath TaC. Is ábhar ceirmeach teasfhulangach é Tantalum Carbide a bhfuil cáil air as a chruas eisceachtúil, táimhe ceimiceach agus cobhsaíocht theirmeach. Tríd an susceptor graifíte a bhratú le TaC, bainimid amach comhpháirt a sheasann ní hamháin le coinníollacha éilitheacha próisis MOCVD ach a fheabhsaíonn feidhmíocht agus marthanacht iomlán an chórais freisin.

Cinntíonn an Susceptor MOCVD le TaC Coating nasc láidir idir an sciath agus an tsubstráit graifíte. Tá ról ríthábhachtach ag roghnú cúramach na graifíte ina leith seo. Tá Comhéifeacht an Leathnaithe Teirmeach (CTE) den graifít a roghnaíodh a úsáidtear inár Susceptor MOCVD le TaC Coating ag teacht go dlúth leis an sciath TaC. Laghdaíonn an dlúthmheaitseáil seo i luachanna CTE an strus teirmeach is féidir a tharlú le linn na dtimthriallta tapa téimh agus fuaraithe atá tipiciúil i bpróisis MOCVD. Mar thoradh air sin, cloíonn an sciath TaC níos daingne leis an tsubstráit graifíte, ag cur go mór le sláine meicniúil agus saolré an susceptor.

Tá an Susceptor MOCVD le Cumhdach TaC thar a bheith buan agus féadann sé strusanna meicniúla agus coinníollacha crua phróiseas MOCVD a sheasamh gan díghrádú. Tá an marthanacht seo riachtanach chun an chéimseata beacht agus an caighdeán dromchla a theastaíonn le haghaidh fás epitaxial ard-toraidh a chothabháil. Leathnaíonn an sciath láidir TaC saol oibríochta an susceptor freisin, ag laghdú minicíocht na n-athsholáthairtí agus ag ísliú an chostais iomlán a bhaineann le húinéir ar chóras MOCVD.

Ligeann cobhsaíocht theirmeach TaC don Susceptor MOCVD le TaC Coating oibriú ag na teochtaí arda atá riachtanach do phróisis éifeachtacha MOCVD. Ciallaíonn sé seo gur féidir leis an Susceptor MOCVD le TaC Coating tacú le raon leathan de phróisis taisce, ó fhás GaN íseal-teocht go epitaxy SiC ardteochta, rud a fhágann go bhfuil sé ina chomhpháirt luachmhar do mhonaróirí leathsheoltóra atá ag iarraidh a gcórais MOCVD a bharrfheabhsú le haghaidh feidhmeanna éagsúla.

Is dul chun cinn suntasach san epitaxy leathsheoltóra é an Susceptor Semicorex MOCVD le Cumhdach TaC. Trí airíonna graifíte agus TaC a chomhcheangal, d'fhorbraíomar susceptor a shásaíonn ní hamháin éilimh na bpróiseas MOCVD nua-aimseartha ach a sháraíonn. Cinntíonn na comhéifeachtaí dlúth-mheaitseála de leathnú teirmeach (CTE) idir an tsubstráit graifíte agus an sciath TaC nasc láidir, agus soláthraíonn cruas eisceachtúil, táimhe ceimiceach, agus cobhsaíocht theirmeach TaC cosaint agus marthanacht gan sárú. Mar thoradh air seo tá susceptor a sheachadann feidhmíocht níos fearr, a fheabhsaíonn cáilíocht an fháis epitaxial agus a leathnaíonn saol oibriúcháin na gcóras MOCVD. Is féidir le monaróirí leathsheoltóra a bheith ag brath ar ár Susceptor MOCVD le TaC Coating chun táirgeacht níos airde, costais níos ísle, agus solúbthacht próisis níos mó a bhaint amach, rud a fhágann go bhfuil sé ina chomhpháirt riachtanach chun nuálaíocht teicneolaíochta agus sármhaitheas i ndéantúsaíocht leathsheoltóra a bhaint amach.