Treoraí treorach

Is cuid ríthábhachtach é fáinne treorach Semicorex i bhfoirnéis fáis criostail SIC (sileacain), atá deartha chun an timpeallacht fáis criostail a bharrfheabhsú. Déantar an fáinne treorach ardfheidhmíochta seo as graifít ard-íonachta agus tá CVD úrscothach ann (sil-leagan gaile ceimiceach)Cumhdach Carbide Tantalum (TAC). Cinntíonn meascán na n -ábhar seo marthanacht níos fearr, cobhsaíocht theirmeach, agus frithsheasmhacht in aghaidh dálaí ceimiceacha agus fisiciúla.

Ábhar agus sciath

Is é an bunábhar den fháinne treorach graifít ard-íonachta, a roghnaítear as a seoltacht theirmeach den scoth, a neart meicniúil, agus a chobhsaíocht ag teochtaí arda. Tá an tsubstráit graifíte brataithe ansin le ciseal dlúth, aonfhoirmeach de chomhdhúile tantalum ag baint úsáide as próiseas ard CVD. Tá cáil ar Tantalum Carbide mar gheall ar a chruas eisceachtúil, a fhriotaíocht ocsaídiúcháin, agus a táimhe cheimiceach, rud a fhágann gur ciseal cosanta idéalach é do chomhpháirteanna graifíte atá ag feidhmiú i dtimpeallachtaí crua.

Tá comhshó fótaileictreach den scoth agus cumais tarchuir comhartha micreathonnach agus cumais tarchurtha comhartha micreathonnach ag na hábhair leathsheoltóra banda-ghlúin ar leithead ar leithead (SIC), agus is féidir leo freastal ar riachtanais ghléasanna leictreonacha ardmhinicíochta, ardteochta, ard-chumhacht agus radaíochta-resistant. Dá bhrí sin, tá ionchais leathana acu i réimsí cumarsáide soghluaiste na glúine nua, feithiclí fuinnimh nua, greillí cliste agus soilse. Éilíonn forbairt chuimsitheach an tslabhra tionscail leathsheoltóra tríú glúin go práinneach dul chun cinn i bpríomhtheicneolaíochtaí, dul chun cinn leanúnach dearadh agus nuálaíocht gléas, agus réiteach spleáchais ar allmhairí.

Ag glacadh le fás sliseog cairbíde sileacain mar shampla, tá sé deacair ábhair ghraifít agus ábhair ilchodacha carbóin-charbóin in ábhair allamuigh teirmeacha a chomhlíonadh an próiseas casta atmaisféir (Si, SIC₂, Si₂c) ag 2300 ℃. Ní hamháin go gcuirtear codanna difriúla in ionad gach ceann de na foirnéisí, agus go bhféadann lochtanna criostail mar chuimsithe carbóin a bheith mar thoradh ar insíothlú agus volatilization graifít. D'fhonn fás ardcháilíochta agus cobhsaí criostail leathsheoltóra a chinntiú, agus ag smaoineamh ar chostas táirgthe tionsclaíoch, ullmhaítear bratuithe ceirmeacha atá frithsheasmhach in aghaidh an chreimthe ardteochta ar dhromchla na gcodanna graifíte, a leathnóidh saol na gcomhpháirteanna graifíte, a choisceann imirce neamhíonachta agus chun íonacht chriostal a fheabhsú. I bhfás eipiciúil cairbíd sileacain, is iondúil go n -úsáidtear so -ghabhálaí grabite atá brataithe le cairbíd sileacain chun tacú leis an tsubstráit criostail aonair agus é a théamh. Ní mór a shaol seirbhíse a fheabhsú go fóill, agus ní mór na taiscí cairbíde sileacain ar an gcomhéadan a ghlanadh go rialta. I gcodarsnacht leis sin,Cumhdach Carbide Tantalum (TAC)tá sé níos frithsheasmhaí in aghaidh atmaisféar creimneach agus ardteocht, agus is í an chroí -theicneolaíocht do "fhás, tiús agus cáilíocht" criostail SIC den sórt sin.

Nuair a ullmhaítear SIC le hiompar gaile fisiciúil (PVT), tá an criostail síl i gcrios teochta réasúnta íseal, agus tá an t -amhábhar SIC i gcrios teochta sách ard (os cionn 2400 ℃). Dianscaoileann an t -amhábhar SixCy a tháirgeadh (ina bhfuil Si, Sic₂, Si₂c, etc. den chuid is mó), agus iompraítear an t -ábhar céime gáis ón gcrios ardteochta go dtí an criostail síol sa chrios ísealteochta, agus fásann agus fásann agus fásann sé chun criostail amháin a dhéanamh. Ní mór na hábhair allamuigh a úsáidtear sa phróiseas seo, mar shampla an Crucible, an fáinne treorach, agus an sealbhóir criostail síl, a bheith frithsheasmhach in aghaidh teochtaí arda agus ní dhéanfaidh siad éilliú ar an amhábhar SIC agus ar chriostal aonair SIC. Tá SIC agus ALN ullmhaithe ag baint úsáide as ábhair allamuigh graifíte TAC-brataithe níos glaine, agus níl beagnach aon eisíontais ar nós carbóin (ocsaigin, nítrigin), níos lú lochtanna imeall, friotachas níos lú i ngach réigiún, agus laghdaítear go mór dlús micropore agus dlús clais etch (tar éis eitseáil KOH), agus feabhas mór a chur ar cháilíocht an chriostal. Ina theannta sin, tá ráta meáchain caillteanas an bhreogáin TAC beagnach nialas, tá an chuma slán, agus is féidir é a athchúrsáil, ar féidir leis inbhuanaitheacht agus éifeachtúlacht ullmhúchán criostail aonair den sórt sin a fheabhsú.