Bhraith sciath charbóin ghloine ghloine

Bhraith sciath charbóin ghloine semicorex mar chiseal inslithe inmheánach in imoibreoirí epitaxial cairbíde sileacain. Is ábhar inslithe ardfheidhmíochta é atá deartha do thimpeallachtaí teirmeacha ardleibhéil. Sáraíonn an táirge seo dúshláin mhonaraithe ard-theochta leathsheoltóra tipiciúla trí réitigh níos fearr a thairiscint mar gheall ar a n-airíonna inslithe teirmeacha éadroma agus den scoth deBhraith graifít, mar aon le sláine an dromchla agus an támh ceimiceach a thug sciath charbóin ghloine.

Is íonacht ard é an bunábharBhraith graifítRoghnaigh cobhsaíocht ardteochta agus meáchan éadrom ar a seoltacht theirmeach íseal. Is iondúil go mbíonn shedding snáithín dromchla agus giniúint na gcáithníní ag teochtaí ardaithe ag gnáth -ghraifít de ghnáth ar féidir leo timpeallacht an phróisis a thruailliú i gcórais íogaire epitaxial. Chun an tsaincheist seo a mhaolú, tá dromchla na graifíte brataithe go haonfhoirmeach le sraith carbóin ghloine-cineál carbóin dlúth, neamh-póiriúil ar a dtugtar a thááil cheimiceach, tréscaoilteacht gáis íseal, agus cobhsaíocht theirmeach eisceachtúil.

Is carbón neamh-ghrafaíochta é carbón gloine a chomhcheanglaíonn airíonna gloine agus criadóireachta. I gcodarsnacht le graifít chriostalach, is ábhar carbóin éagruthach, beagnach 100% SP2 é, a fhoirmítear trí shintéiriú ardteochta réamhtheachtaithe orgánacha polaiméire, amhail roisín feanólach, roisín alcóil furfuryl, etc., in atmaisféar gáis támh. Toisc go bhfuil sé dubh ar fud agus go bhfuil dromchla réidh aige cosúil le gloine, tugtar carbón gloine air.

Is féidir le sciath charbóin ghloine deireadh a chur le giniúint cáithníní foirnéise, pores dromchla séalaithe a sholáthar, airíonna den scoth a bheith acu agus tréscaoilteacht a laghdú, rud a chiallaíonn go bhfuil an t -ábhar seo an -oiriúnach do mhúnlaí agus táirgí réitigh leanúnacha sa tionscal leathsheoltóra. Tá raon leathan feidhmchlár ag an ábhar seo sa tionscal leathsheoltóra, go háirithe i gcodanna graifítí amhail comhpháirteanna trealaimh sileacain amháin criostail, comhpháirteanna fáis eipiciúil, múnlaí réitigh leanúnacha, portáin rónta gloine, etc.

Tá friotaíocht ardteochta ag carbón gloine suas le 3000 ° C i ngás támh nó i bhfolús, agus murab ionann agus na hábhair ardteochta ceirmeacha agus mhiotalacha eile, méadaíonn neart an charbóin ghloine le teocht mhéadaitheach suas go 2700K, agus ní éiríonn sé sobhriste agus tá friotaíocht turraing an -ard teirmeach ann, mar sin níl aon fhadhb ag téamh agus amanna fuaraithe. Ina theannta sin, tá mais íseal, ionsú teasa íseal agus leathnú teirmeach íseal ag carbón gloine, mar sin tá sé oiriúnach do beagnach gach feidhmchlár ardteochta.

Tá ról ríthábhachtach ag an sciath charbóin ghloine maidir le pores dromchla an ghraifít a shéalú, rud a laghdaíonn go mór scaoileadh cáithníní agus deannach carbóin le linn oibriú. Tá sé seo thar a bheith criticiúil i bpróisis fáis eipiciúil SIC, áit ar féidir le fiú éilliú íosta comhréiteach a dhéanamh ar chaighdeán sliseog agus ar fheidhmíocht feiste. Trí struchtúr póiriúil an bhraith a chuimsiú le sliogán carbóin atá réidh, crua gloine, cinntíonn an sciath timpeallacht theirmeach glan agus cobhsaí laistigh den seomra imoibriúcháin.

I measc na bpríomhbhuntáistí a bhaineann le sciath charbóin ghloine tá:

Shedding na gcáithníní laghdaithe: Glasálann an sciath dlúth go héifeachtach i snáithíní agus i gcáithníní scaoilte, rud a choisceann éilliú sliseoga agus comhpháirteanna imoibreora.

Cobhsaíocht ard teirmeach: Is féidir leis an mbraith graifíte agus an carbón gloine araon teochtaí a sheasamh níos mó ná 2000 ° C in atmaisféir támh nó folúis, rud a fhágann go bhfuil an táirge oiriúnach do phróisis SIC ardteochta.

Táimhe cheimiceach: Tá an dromchla carbóin gloine in aghaidh an chuid is mó de na haigéid agus an ghás creimneach, ag leathnú saol oibríochtúil an chiseal inslithe faoi choinníollacha géara.

Comhsheasmhacht an phróisis fheabhsaithe: Cuireann an ghiniúint cháithníní íoslaghdaithe le timpeallacht fáis eipiciúil níos cobhsaí agus in-athdhéanta, atá riachtanach chun sliseoga SIC ardchaighdeáin a tháirgeadh.

Bhraith feidhmchláir sciath charbóin ghloine go príomha le foirnéisí fáis eipiciúil SIC, áit a n -úsáidtear é mar chiseal inslithe teirmeach laistigh den chrios te. Is iondúil go bhfuil an táirge suiteáilte mar ábhar líneála sna stoic inslithe uachtaracha nó íochtaracha, áit a soláthraíonn sé dearbhú teirmeach agus glaineachta.