Tá Clúdach Cumhdach Semicorex CVD TaC ag éirí ina theicneolaíocht chumasúcháin ríthábhachtach sna timpeallachtaí éilitheacha laistigh d'imoibreoirí epitaxy, arb iad is sainairíonna iad teocht ard, gáis imoibríocha, agus riachtanais íonachta déine, a éilíonn ábhair láidre chun fás criostail comhsheasmhach a chinntiú agus frithghníomhartha nach dteastaíonn a chosc.**
Tá cruas suntasach ag baint le Clúdach Cumhdach Semicorex CVD TaC, a shroicheann 2500-3000 HV de ghnáth ar scála Vickers. Eascraíonn an cruas eisceachtúil seo as na naisc chomhfhiúsacha thar a bheith láidir idir tantalam agus adaimh charbóin, rud a chruthaíonn bacainn dhlúth dho-thruaillithe in aghaidh caitheamh scríobach agus dífhoirmiúchán meicniúil. Go praiticiúil, is ionann é seo agus uirlisí agus comhpháirteanna a fhanann níos géire níos faide, a chothaíonn cruinneas tríthoiseach an Chlúdach Cumhdach CVD TaC, agus a sheachadann feidhmíocht chomhsheasmhach ar feadh a shaolré.
Tá poitéinseal ollmhór ag graifít, lena meascán uathúil maoine, do raon leathan feidhmeanna. Mar sin féin, is minic a chuireann a laige dúchasach teorainn lena húsáid. Athraíonn bratuithe CVD TaC an cluiche, ag cruthú nasc thar a bheith láidir le foshraitheanna graifíte, ag cruthú ábhar sineirgisteacha a chomhcheanglaíonn an chuid is fearr den dá shaol: seoltacht ard teirmeach agus leictreach graifíte le cruas eisceachtúil, friotaíocht caitheamh, agus táimhe ceimiceach an CVD. Clúdach Cumhdach TaC.
Is féidir le luaineachtaí meara teochta laistigh d'imoibreoirí eipeataí dochar a dhéanamh d'ábhair, rud a chruthaíonn scoilteadh, sníomh agus teip thubaisteach. Tá friotaíocht turrainge teirmeach iontach ag Clúdach Cumhdach CVD TaC, áfach, agus is féidir leis na timthriallta teasa agus fuaraithe tapa a sheasamh gan cur isteach ar a sláine struchtúrach. Eascraíonn an athléimneacht seo ó mhicreastruchtúr uathúil Clúdach Cumhdach CVD TaC, a cheadaíonn leathnú agus crapadh tapa gan strusanna suntasacha inmheánacha a chruthú.
Ó aigéid chreimneach go tuaslagóirí ionsaitheach, is féidir leis an catha ceimiceach a bheith neamhfhorleathan. Seasann Clúdach Cumhdach CVD TaC, áfach, go daingean, ag taispeáint friotaíocht iontach do raon leathan ceimiceán agus oibreán creimneach. Déanann an táimhe ceimiceach seo rogha iontach é d'fheidhmchláir i bpróiseáil cheimiceach, i dtaiscéalaíocht ola agus gáis, agus i dtionscail eile ina bhfuil comhpháirteanna nochta go rialta do thimpeallachtaí ceimiceacha crua.
Tantalum Carbide (TaC) Cumhdach ar thrasghearradh micreascópach
Príomhfheidhmchláir Eile i dTrealamh Epitaxy:
Suiméirí agus Iompróirí Wafer:Déanann na comhpháirteanna seo an tsubstráit a shealbhú agus a théamh le linn fás epitaxial. Soláthraíonn bratuithe CVD TaC ar chumhdaitheoirí agus iompróirí slise dáileadh aonfhoirmeach teasa, cuireann siad cosc ar éilliú an tsubstráit, agus feabhsaítear friotaíocht in aghaidh warping agus díghrádaithe de bharr teochtaí arda agus gáis imoibríocha.
Insteallairí Gáis agus Soic:Tá na comhpháirteanna seo freagrach as sreafaí cruinne de gháis imoibríocha a sheachadadh chuig dromchla an tsubstráit. Feabhsaíonn bratuithe CVD TaC a bhfriotaíocht le creimeadh agus creimeadh, ag cinntiú seachadadh comhsheasmhach gáis agus cosc a chur ar éilliú cáithníní a d'fhéadfadh cur isteach ar fhás criostail.
Líneálacha Seomra agus Sciath Teasa:Tá ballaí istigh na n-imoibreoirí epitaxy faoi réir teas dian, gáis imoibríocha, agus tógáil sil-leagan féideartha. Cosnaíonn bratuithe CVD TaC na dromchlaí seo, ag leathnú a saolré, ag íoslaghdú giniúint cáithníní, agus ag simpliú nósanna imeachta glantacháin.