Fáinní brataithe CVD TAC

Semicorex CVD Is éard atá i bhfáinní brataithe TAC ná comhpháirteanna beachtais-innealtóireachta atá deartha go sonrach don phróiseas fáis criostail, go háirithe laistigh de na córais sholadach treo agus czochralski (CZ). Feidhmíonn na fáinní brataithe CVD TAC seo mar chomhpháirteanna treorach sreafa - dá ngairtear “fáinní treorach sreafa” nó “fáinní sraonadh gáis” - agus tá ról ríthábhachtach acu maidir le patrúin sreafa gáis cobhsaí agus timpeallachtaí teirmeacha a choinneáil le linn na céime fáis criostail.

Ag glacadh le fás sliseog cairbíde sileacain mar shampla, tá sé deacair ábhair ghraifít agus ábhair ilchodacha carbóin-charbóin in ábhair allamuigh teirmeacha a chomhlíonadh an próiseas casta atmaisféir (Si, SIC₂, Si₂c) ag 2300 ℃. Ní hamháin go gcuirtear codanna difriúla ar fáil do shaol na seirbhíse, agus go dtiocfaidh lochtanna criostail ar nós cuimsithe carbóin mar thoradh ar an scagdhealú agus an t -uafás graifít ag teochtaí arda. D'fhonn fás ardcháilíochta agus cobhsaí criostail leathsheoltóra a chinntiú, agus ag smaoineamh ar chostas táirgthe tionsclaíoch, ullmhaítear bratuithe ceirmeacha atá frithsheasmhach in aghaidh an chreimthe ardteochta ar dhromchla na gcodanna graifíte, a leathnóidh saol na gcomhpháirteanna graifíte, a choisceann imirce neamhíonachta agus chun íonacht chriostal a fheabhsú. I bhfás eipiciúil cairbíd sileacain, is iondúil go n -úsáidtear soirneoirí graifíte brataithe sileacain chun foshraitheanna criostail aonair a iompar agus a théamh. Ní mór a saol seirbhíse a fheabhsú go fóill, agus caithfear taiscí cairbíde sileacain ar an gcomhéadan a ghlanadh go rialta. I gcodarsnacht leis sin,Cótaí Carbide Tantalum (TAC)tá siad níos frithsheasmhaí in aghaidh atmaisféir chreimneacha agus teochtaí arda, agus is iad na croí -theicneolaíocht do chriostal SIC den sórt sin "fás, fás tiubh, agus fás go maith".

Tá leáphointe suas le 3880 ℃ ag TAC, agus tá neart meicniúil ard, cruas, agus friotaíocht turraing teirmeach aige; Tá táimhe cheimiceach maith agus cobhsaíocht theirmeach ann go gal amóinia, hidrigine agus sileacain ag teochtaí arda. Is dóchúil go dtiocfaidh ábhair graifíte (ilchodach carbóin-charbóin) atá brataithe le bratuithe TAC in áit graifít ard-íonachta traidisiúnta, bratuithe PBN, codanna brataithe SIC, etc. Ina theannta sin, i réimse an aeraspáis, tá poitéinseal mór ag TAC a úsáid mar fhrith-ocsaídiú ard-ocsaídiúcháin agus mar fhrith-ocsaídiú frith-ocsaídiúcháin, agus tá iontrálacha leathana. Mar sin féin, tá go leor dúshlán ann fós chun ullmhú bratuithe TAC dlúth, aonfhoirmeach agus neamh-flafaíochta a bhaint amach ar dhromchla graifít agus olltáirgeadh tionsclaíoch a chur chun cinn. Sa phróiseas seo, tá sé ríthábhachtach iniúchadh a dhéanamh ar mheicníocht chosanta an sciath, ag nuáil an phróisis táirgthe, agus ag iomaíocht leis an leibhéal eachtrach is fearr don fhás criostail leathsheoltóra tríú glúin agus don epitaxy.

An próiseas SIC Pvt ag baint úsáide as sraith de ghraifít thraidisiúnta agusCVD TAC brataitheRinneadh fáinní a mhúnlú chun tuiscint a fháil ar an tionchar a bhíonn ag astaíocht ar dháileadh teochta, rud a d'fhéadfadh athruithe a dhéanamh ar an ráta fáis agus ar chruth tinne. Léirítear go mbainfidh fáinní brataithe CVD TAC teochtaí níos aonfhoirmeacha amach i gcomparáid le graifít atá ann cheana féin. Ina theannta sin, cuireann cobhsaíocht theirmeach agus cheimiceach den scoth an sciath TAC cosc ar imoibriú carbóin le gal Si. Mar thoradh air sin, déanann an sciath TAC dáileadh C/Si sa treo gathacha níos aonfhoirmeach.