Cinnirí cith CVD SiC

Is comhpháirt ard-íonachta, cruinneas-innealta iad Cinn Cith Semicorex CVD SiC atá deartha le haghaidh córais eitseála CCP agus ICP i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ardleibhéil. Ciallaíonn roghnú Semicorex réitigh iontaofa a fháil a bhfuil íonacht ábhair níos fearr acu, cruinneas meaisínithe, agus marthanacht do na próisis plasma is déine.*

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Úsáidtear cinn cithfholcadh Semicorex CVD SiC le haghaidh eitseáil CCP. Úsáideann eitseálaithe CCP dhá leictreoid chomhthreomhara (ceann amháin bunaithe, an ceann eile ceangailte le foinse cumhachta RF) chun plasma a ghiniúint. Coinníonn an réimse leictreach eatarthu an plasma idir an dá leictreoid. Tá na leictreoidí agus an pláta dáileadh gáis comhtháite i gcomhpháirt amháin. Déantar gás eitseála a spraeáil go haonfhoirmeach ar an dromchla sliseog trí phoill bheaga sna cinn cithfholcadh CVD SiC. Ag an am céanna, cuirtear voltas RF i bhfeidhm ar an gceann cith (an leictreoid uachtarach freisin). Gineann an voltas seo réimse leictreach idir na leictreoidí uachtaracha agus íochtaracha, ag spreagadh an gháis chun plasma a fhoirmiú. Tá struchtúr níos simplí agus níos dlúithe mar thoradh ar an dearadh seo agus ag an am céanna áirithítear dáileadh aonfhoirmeach na móilíní gáis agus an réimse leictreach aonfhoirmeach, rud a chumasaíonn eitseáil aonfhoirmeach fiú amháin sliseog mhóra.

silikon

Is comhpháirt ard-íonachta agus cruinneas-mhonaraithe é an CVD SiC Shower Head le haghaidh trealamh próiseála leathsheoltóra atá bunúsach maidir le dáileadh gáis agus cumas leictreoid. Trí úsáid a bhaint as déantúsaíocht sil-leagan ceimiceach gaile (CVD), baineann an ceann cithfholcadh amach eisceacht

íonacht na n-ábhar agus rialú tríthoiseach gan íoc a chomhlíonann riachtanais dhian déantúsaíochta leathsheoltóra sa todhchaí.

Tá ard-íonacht ar cheann de na buntáistí sainiúla a bhaineann le CVD SiC Shower Heads.I bpróiseáil leathsheoltóra, is féidir fiú an t-éilliú is lú tionchar suntasach a imirt ar cháilíocht sliseog agus ar tháirgeacht gléas. Úsáideann an ceann cithfholcadh seo de ghrád ultra-ghlanएलुमिना सिरेमिक मैनिपुलेटर, चीन, निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फैक्टरी, अनुकूलित, थोक, उन्नत, टिकाऊchun éilliú cáithníní agus miotail a íoslaghdú. Cinntíonn an ceann cithfholcadh seo timpeallacht ghlan agus tá sé oiriúnach le haghaidh próisis éilitheacha cosúil le sil-leagan ceimiceach gaile, eitseáil plasma, agus fás epitaxial.

Ina theannta sin, léiríonn meaisínithe cruinneas rialú tríthoiseach den scoth agus cáilíocht dromchla. Déantar na poill dáileacháin gáis i gCeann Cith CVD SiC le lamháltais dhian a chuidíonn le sreabhadh gáis aonfhoirmeach agus rialaithe a chinntiú ar fud an dromchla wafer. Feabhsaíonn sreabhadh beacht gáis aonfhoirmeacht scannáin agus in-atrialltacht agus féadann sé toradh agus táirgiúlacht a fheabhsú. Cuidíonn meaisínithe freisin le gairbhe an dromchla a laghdú, rud a d'fhéadfadh méadú na gcáithníní a laghdú agus saolré na gcomhpháirteanna a fheabhsú.

CVD SiCtá airíonna ábhartha dúchasacha aige a chuireann le feidhmíocht agus marthanacht an chinn cith, lena n-áirítear seoltacht ard teirmeach, friotaíocht plasma, agus neart meicniúil. Is féidir le Ceann Cith CVD SiC maireachtáil i dtimpeallachtaí próisis foircneacha - teocht ard, gáis chreimneach, etc. - agus feidhmíocht a chothabháil thar thimthriallta seirbhíse leathnaithe.

Hot Tags: Cinnirí cithfholcadh CVD SiC, an tSín, monaróirí, soláthraithe, monarcha, saincheaptha, mórchóir, ard, buan

Clib Táirge

Catagóir Gaolmhar