Is comhpháirt seomra imoibrithe ardchruinneas é Semicorex 15" Grianchloch Bell Jar atá déanta go cúramach ó shilice comhleáite ultra-ardíonachta. Deartha do na timpeallachtaí leathsheoltóra is déine, feidhmíonn sé mar bhacainn thrédhearcach chriticiúil do Sheascadh Gaile Ceimiceach (CVD), do Dhíshuiteáil Ghlais Fhisiciúil (PVD), agus do tháirgí ard-chostasach ar fud an domhain is ea Semicorexico.
Déantar innealtóireacht Semicorex 15" Grianchloch Bell Jar chun na dúshláin seo a chomhlíonadh, ag soláthar réiteach ardfheidhmíochta do phróiseáil bhaisc lár-go-mórscála ina bhfuil aonfhoirmeacht teirmeach agus íonacht ábhair riachtanach chun an toradh a uasmhéadú. do-idirbheartaithe.
Tá bunús ár gcróca clog ard-íonachtashilice comhleáite (Grianchloch). Murab ionann agus gloine caighdeánach, tá Grianchloch comhdhéanta beagnach go hiomlán de SiO2, ag soláthar airíonna uathúla atá ríthábhachtach do mhonarú leathsheoltóra:
Éilliú Ultra-Íseal: Déantar ár Grianchloch a phróiseáil chun riandúile miotalach (cosúil le Al, Fe, Na, agus K) a íoslaghdú go dtí an leibhéal páirteanna-billiún (ppb). Cuireann sé seo cosc ar scaipeadh neamhíonachtaí isteach sa wafer le linn timthriallta ardteochta, rud a chinntíonn sláine leictreach na bhfeistí.
Sár-fhriotaíocht i dTurraing Teirmeach: Tá Comhéifeacht Leathnú Teirmeach beagnach nialasach (CTE) ag Grianchloch. Ligeann sé seo don Phróca Cloigtheach Grianchloch 15" seasamh in aghaidh rampa agus múchadh tapa teochta gan riosca briste nó tuirse struchtúrach - riachtanas ríthábhachtach d'imoibreoirí ard-thréchuir.
Inertness Cheimiceach den Scoth: Tá Grianchloch an-fhrithsheasmhach don chuid is mó d'aigéid (cé is moite d'aigéad hidreafluarach) agus do gháis phróisis chreimneach, rud a chinntíonn nach ndéanann an seomra díghrádú nó dul as gás le linn timthriallta eitseála nó sil-leagan ionsaitheach.
Soláthraíonn an Jar Cloigtheach Grianchloch 15" uasmhéid toirte agus dinimic sreafa gáis optamach chun críche próiseáil bhaisc wafer. Tá simléar ingearach (ar a dtugtar muineál freisin) ag an gcrúsca atá deartha go barrmhaith chun ionraon gáis a sholáthar nó chun cuidiú le gás a bhaint trí fholús as an próca, a thaispeántar san íomhá thuas.
Trédhearcacht Optúil - An leibhéal ard tarchurtha deábhar Grianchlochchun tonnfhaid a astú i réigiúin ultraivialait, infheicthe agus infridhearg an speictrim ceadaítear próiseáil fíor-ama chomh maith le húsáid téitheoirí lampa seachtracha le haghaidh próiseála teirmeach tapa (RTP).
Dromchlaí Séalaithe Treisithe - Tá séala bán teimhneach forbartha go speisialta ag muineál an phróca (dá ngairtear comhpháirteach talún freisin) a sholáthraíonn comhéadan hermetic (aer-séalaithe) agus folús-daingean idir bonnphláta an imoibreora agus an próca.
Annealing le haghaidh Faoiseamh Strus - Téann gach Jar Cloigín Grianchloch 15" faoi dhianphróiseas análaithe teirmeach chun faoiseamh a dhéanamh ar an strus meicniúil inmheánach a cuireadh ar an gcrúsca le próiseas meicniúil séideadh nó múnlú an phróca, rud a laghdóidh go mór an seans go dteipfidh ar phróca go spontáineach nuair a chuirtear faoi ualach folúis é.
Tá ár bPróca Cloigín Grianchloch 15" deartha go sonrach le haghaidh comhtháthú isteach sna próisis ardluacha seo a leanas:
Silicon Epitaxy: Soitheach trédhearcach, neamh-imoibríoch a sholáthar le haghaidh sraitheanna sileacain aonchriostail ard-chaighdeán a fhás.
CVD Feabhsaithe Plasma (PECVD): In ainneoin na timpeallachta creimneach plasma agus neart tréleictreach ard á chothabháil.
Idirleathadh agus Ocsaídiú: Ag fónamh mar sheomra glan, ardteasa chun ocsaídí geata a fhoirmiú agus tiomáint isteach dopant.
Táirgeadh Preform Snáithín Optúil: Ideal do thaisceadh ard-íonachta de shraitheanna silica i ndéantúsaíocht gloine speisialtachta.
Ag Semicorex, láimhseáilimid gach crúsca clog mar phíosa trealaimh saotharlainne beachtais. Áirítear ar ár bpróiseas: Foinsiú ábhar docht le grád leictreonach fíoraithegrianchlochdtinní; déantúsaíocht chun cinn a chumasc scileanna séidte gloine traidisiúnta le meilt agus snasú CNC-rialaithe; agus iniúchadh críochnúil ag baint úsáide as solas polaraithe chun strus iarmharach agus trasnaíocht léasair a bhrath le haghaidh seiceálacha beachta tríthoiseach.