Imríonn homaepitacsas agus heitreaepitaxy róil ríthábhachtacha san eolaíocht ábhair. Is éard atá i gceist le Homoepitaxy ná ciseal criostalach a fhás ar fhoshraith den ábhar céanna, rud a chinntíonn lochtanna íosta de bharr meaitseáil laitíse foirfe. I gcodarsnacht leis sin, fásann heteroepitaxy cis......
Leigh Nios moChun riachtanais ardcháilíochta próisis chiorcaid sliseanna IC a bhaint amach le leithead líne níos lú ná 0.13μm go 28nm le haghaidh sliseog snasta sileacain trastomhas 300mm, tá sé riachtanach éilliú ó eisíontais, mar shampla iain miotail, ar dhromchla an wafer a íoslaghdú.
Leigh Nios mo