Is éard atá i ndéantúsaíocht leathsheoltóra chun cinn ná iliomad céimeanna próisis, lena n-áirítear taisceadh scannán tanaí, fótailiteagrafaíocht, eitseáil, ionchlannú ian, snasú meicniúil ceimiceach. Le linn an phróisis seo, d'fhéadfadh go mbeadh tionchar díobhálach ag fiú lochtanna beaga bídeacha sa phróiseas ar fheidhmíocht agus ar iontaofacht na sliseanna leathsheoltóra deiridh. Dá bhrí sin, is dúshlán suntasach é cobhsaíocht agus comhsheasmhacht an phróisis a chothabháil, chomh maith le monatóireacht éifeachtach trealaimh a dhéanamh. Is uirlisí ríthábhachtacha iad sliseoga caocha a chuidíonn le dul i ngleic leis na dúshláin seo.
Is éard is sliseog caocha ann ná sliseoga nach n-iompraíonn ciorcadra iarbhír agus nach n-úsáidtear sa phróiseas táirgthe sliseanna deiridh. iad seosliseogis féidir leo a bheith ina sliseog tástála úrnua de ghrád níos ísle nó ina sliseog athghinte. Difriúil ó sliseog táirgí costasacha a úsáidtear chun ciorcaid iomlánaithe a mhonarú, úsáidtear iad go hiondúil le haghaidh cineálacha éagsúla nach mbaineann le táirgeadh agus atá riachtanach do tháirgeadh leathsheoltóra.
Úsáidtear sliseoga caol go coitianta le haghaidh tástála roimh na cásanna seo chun cobhsaíocht an phróisis agus comhlíonadh feidhmíochta trealaimh a chinntiú, mar shampla sula ndéantar trealamh próisis nua a choimisiúnú, tar éis cothabhála nó athsholáthar comhpháirteanna den trealamh atá ann cheana féin, agus le linn oidis próisis nua a fhorbairt. Is féidir fíorú feidhmíochta trealaimh agus coigeartú beacht ar pharaiméadair an phróisis a chur i gcrích go rathúil trí anailís a dhéanamh ar thorthaí próiseála ar na sliseog caocha, rud a laghdaíonn go héifeachtach caillteanas na sliseog táirge agus a laghdaíonn costais táirgthe na bhfiontar.
Tá tionchar suntasach ag timpeallacht seomra go leor trealamh próiseas leathsheoltóra (m.sh., trealamh sil-leagain gaile ceimiceach (CVD), trealamh sil-leagain gal fisiceach (PVD), agus meaisíní eitseála) ar thorthaí próiseála. Mar shampla, ní mór don stádas sciath agus dáileadh teochta ar bhallaí istigh an tseomra staid chobhsaí a bhaint amach. Is minic a úsáidtear sliseoga chun na seomraí próisis a riochtú agus an timpeallacht inmheánach (m.sh., teocht, atmaisféar ceimiceach, agus stádas dromchla) na ndlísheomraí a chobhsú, rud a chuireann cosc go héifeachtach ar chlaonadh próisis nó ar lochtanna sa chéad bhaisc de sliseog táirge de bharr nach bhfuil an trealamh ag feidhmiú ag an staid is fearr is féidir.
Tá ceanglais an-ard glaineachta ag déantúsaíocht leathsheoltóra; is féidir teip sliseanna a bheith mar thoradh ar éilliú cáithníní bídeach fiú. Trí scrúdú a dhéanamh ar na cáithníní atá ag cloí le dromchla na sliseog chaocha a chothaítear sa trealamh, is féidir glaineacht an trealaimh a mheas. Mar sin, is féidir sliseog táirgí a chosaint go rathúil ó éilliú trí fhoinsí féideartha éilliúcháin a aithint go pras agus nósanna imeachta glantacháin nó cothabhála a chur i bhfeidhm.
Chun an sreabhadh gáis, an dáileadh teochta, agus an tiúchan imoibreáin sa seomra próisis a bhaint amach, is é oibríocht lán-ualach an cleachtas coitianta sa trealamh próiseála baisc cosúil le foirnéisí idirleata, foirnéisí ocsaídiúcháin, nó umair ghlanadh fliuch. Úsáidtear sliseog chaocha chun na sliotáin fholmha sa bhád sliseog a líonadh nach bhfuil líon leordhóthanach sliseog táirge acu, rud a d'fhéadfadh éifeacht imeall a laghdú agus coinníollacha próiseála comhsheasmhacha a chinntiú do gach sliseog táirge, go háirithe dóibh siúd atá suite ar imill an bháid wafer.
Is féidir sliseog chaocha a úsáid freisin ag céim réamhchóireála an phróisis CMP chun cobhsaíocht an phróisis a chothabháil. Uasmhéadaíonn tástáil réamh-reáchtáil le sliseoga caolchúiseach garbh agus porosity an eochaircheap snasta, laghdaítear neamhchinnteachtaí próisis le linn na céime cobhsaithe tosaithe nó an trasdula roimh an múchadh, agus laghdaítear scratches wafer agus lochtanna de bharr soláthar neamhghnácha sciodair agus caitheamh scairt ceann.
Tairgeann Semicorex éifeachtach ó thaobh costaissliseog Caochadán SiC. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.
Fón teagmhála # +86-13567891907
Ríomhphost: sales@semicorex.com