Próiseas PECVD

Is teicneolaíocht a úsáidtear go forleathan i ndéantúsaíocht sliseanna í Taiscí Gaile Ceimiceach Feabhsaithe Plasma (PECVD). Úsáideann sé fuinneamh cinéiteach na leictreon laistigh den phlasma chun imoibrithe ceimiceacha sa chéim gáis a ghníomhachtú, agus ar an gcaoi sin sil-scannán tanaí a bhaint amach. Is éard atá i plasma ná bailiúchán ian, leictreoin, adaimh neodracha, agus móilíní, atá neodrach go leictreach ar scála macrascópach. Is féidir le plasma cuid mhór fuinnimh inmheánach a stóráil agus, bunaithe ar a saintréithe teochta, déantar é a chatagóiriú i plasma teirmeach agus plasma fuar. I gcórais PECVD, úsáidtear plasma fuar, a fhoirmítear trí urscaoileadh gáis ísealbhrú chun plasma gásach neamhchothromaithe a chruthú.

Cad iad na Airíonna an Plasma Fuar?

Gluaisne Randamach Theirmeach: Sáraíonn gluaisne randamach theirmeach na leictreon agus na n-ian i bplasma a dtreoghluaiseacht.

Próiseas ianúcháin: Imbhuailtí idir leictreoin ghasta agus móilíní gáis is cúis leis go príomha.

Éagothroime Fuinnimh: Tá meánfhuinneamh tairiscinte teirmeach leictreon idir 1 agus 2 ordú méide níos airde ná sin na gcáithníní troma (amhail móilíní, adaimh, iain agus fréamhacha).

Meicníocht Cúitimh Fuinnimh: Is féidir leis an réimse leictreach an caillteanas fuinnimh ó imbhuailtí idir leictreoin agus cáithníní troma a chúiteamh.

Mar gheall ar chastacht plasma neamhchothromaithe íseal-teocht, tá sé dúshlánach cur síos a dhéanamh ar a saintréithe le cúpla paraiméadair. I dteicneolaíocht PECVD, is é príomhról plasma iain agus fréamhacha atá gníomhach go ceimiceach a ghiniúint. Is féidir leis na speicis ghníomhacha seo imoibriú le hiain, adaimh nó móilíní eile, nó damáiste laitíse agus imoibrithe ceimiceacha a thionscnamh ar dhromchla an tsubstráit. Braitheann toradh speiceas gníomhach ar dhlús leictreon, tiúchan imoibreáin, agus comhéifeachtaí toraidh, a bhaineann le neart an réimse leictrigh, brú gáis, agus meánchosán imbhuailtí cáithníní.

Cén Difríocht atá idir PECVD agus CVD Traidisiúnta?

Is iad prionsabail theirmidinimiciúla na n-imoibrithe ceimiceacha an phríomhdhifríocht idir PECVD agus sil-leagan traidisiúnta Gaile Ceimiceach (CVD). I PECVD, tá díthiomsú na móilíní gáis laistigh den plasma neamh-roghnach, rud a fhágann go ndéantar sraitheanna scannáin a thaisceadh a bhféadfadh comhdhéanamh uathúil a bheith acu i stát neamhchothromaíochta, nach bhfuil srianta ag cinéitic cothromaíochta. Is sampla tipiciúil é foirmiú scannán éagruthach nó neamhchriostalach.

Saintréithe PECVD

Teocht Taiscí Íseal: Cuidíonn sé seo le strus inmheánach a laghdú de bharr comhéifeachtaí mímheaitseála leathnaithe teirmeacha líneach idir an scannán agus an t-ábhar tsubstráit.

Ráta Taiscí Ard: Go háirithe faoi choinníollacha teocht íseal, tá an tréith seo buntáisteach chun scannáin éagruthacha agus microcrystalline a fháil.

Damáiste Teirmeach Laghdaithe: Laghdaíonn an próiseas íseal-teocht damáiste teirmeach, laghdaítear idirleathadh agus imoibrithe idir an scannán agus ábhar an tsubstráit, agus laghdaítear tionchar teocht ard ar airíonna leictreacha feistí.