Brath Lochtanna i bPróiseáil Wafer Carbide Silicon

Cad é an Ról atá agFoshraitheanna SiCsa Tionscal Carbide Sileacain?

Foshraitheanna SiCIs iad na comhpháirteanna is ríthábhachtach sa tionscal chomhdhúile sileacain, cuntasaíocht do beagnach 50% dá luach. Gan foshraitheanna SiC, tá sé dodhéanta feistí SiC a mhonarú, rud a fhágann gurb iad an bunús ábhar riachtanach.

Le blianta beaga anuas, tá olltáirgeadh bainte amach ag an margadh baileTsubstráit chomhdhúile sileacain 6-orlach (SiC).táirgí. De réir "Tuarascáil Taighde Margaidh Foshraith SiC 6-orlach na Síne," faoi 2023, tá an méid díolacháin de fhoshraitheanna SiC 6-orlach sa tSín níos mó ná 1 milliún aonad, rud a léiríonn 42% den acmhainn dhomhanda, agus táthar ag súil go mbainfidh sé thart ar 50. % faoi 2026.

I gcomparáid le chomhdhúile sileacain 6-orlach, tá buntáistí feidhmíochta níos airde ag chomhdhúile sileacain 8-orlach. Ar an gcéad dul síos, i dtéarmaí úsáid ábhair, tá achar 8-orlach ag wafer 8-orlach 1.78 uair níos mó ná wafer 6-orlach, rud a chiallaíonn leis an tomhaltas amhábhar céanna,sliseog 8-orlachis féidir níos mó feistí a tháirgeadh, rud a laghdóidh costais aonaid. Ar an dara dul síos, tá soghluaisteacht iompróra níos airde agus seoltacht níos fearr ag foshraitheanna SiC 8-orlach, rud a chabhraíonn le feabhas a chur ar fheidhmíocht fhoriomlán feistí. Ina theannta sin, tá neart meicniúil agus seoltacht theirmeach foshraitheanna SiC 8-orlach níos fearr ná foshraitheanna 6-orlach, rud a fheabhsaíonn iontaofacht gléas agus cumas diomailt teasa.

Cén Tábhacht atá ag Sraitheanna Eipiteacsacha SiC sa Phróiseas Ullmhúcháin?

Is ionann an próiseas epitaxial agus beagnach ceathrú den luach in ullmhúchán SiC agus is céim fíor-riachtanach é san aistriú ó ábhair go hullmhú feiste SiC. Is éard atá i gceist le hullmhú sraitheanna epitaxial go príomha ná scannán monocrystalline a fhás ar anFoshraith SiC, a úsáidtear ansin chun na gléasanna leictreonacha cumhachta a theastaíonn a mhonarú. Faoi láthair, is é an modh is príomhshrutha maidir le déantúsaíocht ciseal epitaxial ná sil-leagan ceimiceach gaile (CVD), a úsáideann imoibritheoirí réamhtheachtaithe gásacha chun scannáin soladacha a fhoirmiú trí imoibrithe ceimiceacha adamhach agus mhóilíneacha. Tá dúshlán teicniúil ag baint le hullmhú foshraitheanna SiC 8-orlach, agus faoi láthair, ní féidir ach líon teoranta monaróirí ar fud an domhain táirgeadh mais a bhaint amach. In 2023, tá thart ar 12 tionscadal leathnaithe a bhaineann le sliseog 8 n-orlach ar fud an domhain, le foshraitheanna SiC 8-orlach agussliseog epitaxialag tosú ag seoladh cheana féin, agus cumas déantúsaíochta sliseog ag luasghéarú de réir a chéile.

Conas a Aithnítear agus a Braitear Lochtanna i bhFoshraitheanna Sileacain Carbide?

Cuireann carbide sileacain, lena chruas ard agus táimhe láidir ceimiceach, sraith dúshlán i láthair i bpróiseáil a fhoshraitheanna, lena n-áirítear príomhchéimeanna cosúil le slicing, tanú, meilt, snasú agus glanadh. Le linn an ullmhúcháin, eascraíonn saincheisteanna cosúil le caillteanas próiseála, damáiste go minic, agus deacrachtaí maidir le feabhsú éifeachtúlachta, rud a chuireann isteach go mór ar cháilíocht na sraitheanna epitaxial ina dhiaidh sin agus ar fheidhmíocht feistí. Dá bhrí sin, tá tábhacht mhór ag aithint agus a bhrath lochtanna i bhfoshraitheanna chomhdhúile sileacain. I measc na lochtanna coitianta tá scratches dromchla, protrusions, agus claiseanna.

Conas atá Lochtanna iAiscíní Eipiteacsacha Carbide SileacainBraitheadh?

Sa slabhra tionscail,sliseoga epitaxial chomhdhúile sileacainatá suite idir foshraitheanna chomhdhúile sileacain agus feistí cairbíde sileacain, a fhástar go príomha trí úsáid a bhaint as an modh sil-leagan ceimiceach gaile. Mar gheall ar airíonna uathúla chomhdhúile sileacain, tá na cineálacha lochtanna difriúil ó na cinn i gcriostail eile, lena n-áirítear titim síos, lochtanna triantáin, lochtanna cairéad, lochtanna móra triantáin, agus bunching céim. Is féidir leis na lochtanna seo dul i bhfeidhm ar fheidhmíocht leictreach gléasanna iartheachtacha, rud a d’fhéadfadh a bheith ina gcúis le briseadh roimh am agus sruthanna sceite suntasacha.

Locht anuas

Locht Triantán

Locht Cairéad

Locht Triantán Mór

Céim Bunching Defect