Is é MOCVD an príomhthrealamh

Is é trealamh MOCVD an príomh-threalamh i bpróiseas táirgthe an tionscail leathsheoltóra, ach freisin cuid mhór d'infheistíocht trealaimh sa slabhra tionscal leathsheoltóra (trí chroí-phróiseas & trealamh: liteagrafaíocht, eitseáil, taisceadh scannán tanaí), infheistíocht líne táirgeachta LED, MOCVD is féidir méid infheistíochta suas le 50%. I dtrealamh CVD, ní féidir an tsubstráit a chur go díreach ar an miotail nó go simplí a chur ar bharr bonn le haghaidh taisceadh epitaxial, toisc go mbaineann sé le tionchar fachtóirí éagsúla cosúil le treo sreabhadh gáis (cothrománach, ingearach), teocht, brú, fosúchán. , ábhar salaithe a shedding. Mar sin, úsáidtear bonn agus cuirtear an tsubstráit ar dhiosca agus ansin déantar taisceadh epitaxial ar bharr an tsubstráit ag baint úsáide as teicneolaíocht CVD. Is é an graifít SiC-brataithe an bonn seosusceptor(ar féidir aiompróir), agus taispeántar a struchtúr san fhíor thíos.