2023-04-27
Cad is afoirnéise CVD?
Is cineál foirnéise é foirnéis CVD (Sistiúchán Gaile Ceimiceach) a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra chun scannáin tanaí d'ábhair éagsúla a thaisceadh ar fhoshraith. Déantar an próiseas i bhfolús nó i dtimpeallacht ísealbhrú, ag baint úsáide as gás imoibríoch a imoibríonn le hábhar an tsubstráit chun an scannán tanaí atá ag teastáil a fhoirmiú. Is uirlis ríthábhachtach í foirnéis CVD chun micrishliseanna, cealla gréine agus gléasanna leictreonacha eile a tháirgeadh.
Conas a oibríonn foirnéise CVD?
foirnéise CVDoibreacha trí thimpeallacht ísealbhrú a chruthú laistigh de chuasán agus gás imoibríoch a thabhairt isteach sa seomra. Imoibríonn an gás le hábhar an tsubstráit agus foirmíonn sé scannán tanaí ar dhromchla an tsubstráit. Déantar an próiseas ag teochtaí arda, de ghnáth idir 500 ° C go 1200 ° C, ag brath ar an gcineál ábhair atá á thaisceadh.
Cuirtear ábhar an tsubstráit taobh istigh den seomra foirnéise, agus tá an seomra séalaithe. Ansin tugtar an gás imoibríoch isteach sa seomra agus téitear é chuig teocht ard. Imoibríonn na móilíní gáis le hábhar an tsubstráit, agus déanann an táirge mar thoradh air sin scannán tanaí ar dhromchla an tsubstráit.
Cad iad na hiarratais a bhaineann le foirnéis CVD?
foirnéise CVDtá raon leathan feidhmchlár aige sa tionscal leathsheoltóra, lena n-áirítear:
1. Dé-ocsaíd sileacain, nítríde sileacain, agus ábhair thréleictreacha eile a úsáidtear i monarú micrishliseanna a thaisceadh.
2. Soilsiú polysilicon agus ábhar seoltaí eile a úsáidtear i dtáirgeadh micrishlis.
3.Déanann sil-leagan scannáin miotail, mar shampla alúmanam agus copar, a úsáidtear i idirnasc idir sraitheanna éagsúla de mhicrishlis.
4. Teistíocht scannán tanaí le haghaidh táirgeadh cealla gréine.
5. Bratuithe a leagan chun páirteanna agus uirlisí caitheamh-resistant a tháirgeadh.
I gcrích,foirnéise CVDIs uirlis ríthábhachtach don tionscal leathsheoltóra é, a chuireann ar chumas micrishlis, cealla gréine agus gléasanna leictreonacha eile a tháirgeadh. Oibríonn sé trí thimpeallacht ísealbhrú a chruthú taobh istigh de sheomra agus trí ghás imoibríoch a thabhairt isteach a imoibríonn le hábhar an tsubstráit chun scannán tanaí a fhoirmiú. Tá a fheidhmchláir ollmhór agus éagsúil, rud a fhágann gur uirlis ríthábhachtach é don teicneolaíocht nua-aimseartha.