Cad is Annealing Teirmeach ann

Is céim ríthábhachtach é an próiseas annealing, ar a dtugtar freisin Annealing Teirmeach, i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Feabhsaíonn sé airíonna leictreacha agus meicniúla ábhar trí sliseog sileacain a chur faoi theocht ard. Is iad príomhspriocanna an annealaithe damáiste laitíse a dheisiú, dopants a ghníomhachtú, airíonna scannáin a mhodhnú, agus silicídí miotail a chruthú. I measc na bpíosaí trealaimh coitianta a úsáidtear i bpróisis análaithe tá páirteanna saincheaptha SiC-brataithe, mar shamplagnóthaire, clúdaigh, srl arna sholáthar ag Semicorex.

Bunphrionsabail an Phróisis Annála

Is é bunphrionsabal an phróisis annealaithe fuinneamh teirmeach a úsáid ag teochtaí arda chun na hadaimh laistigh den ábhar a atheagrú, agus ar an gcaoi sin athruithe fisiceacha agus ceimiceacha sonracha a bhaint amach. Baineann sé go príomha leis na gnéithe seo a leanas:

1. Deisiúchán damáiste laitíse:

  - Ionchlannú ian: bombardaíonn iain ardfhuinnimh an wafer sileacain le linn ionchlannú ian, ag déanamh damáiste don struchtúr laitíse agus ag cruthú limistéar éagruthach.

  - Deisiú anáil: Ag teochtaí arda, déantar na hadaimh laistigh den limistéar éagruthach a atheagrú chun an t-ord laitíse a athchóiriú. De ghnáth éilíonn an próiseas seo raon teochta de thart ar 500 ° C.

2. Gníomhachtú eisíontas:

  - Imirce Dhopant: Aistríonn adaimh eisíontais a instealladh le linn an phróisis análaithe ó na suíomhanna idir-rannacha go dtí na suíomhanna laitíse, rud a chruthaíonn dópáil go héifeachtach.

  - Teocht gníomhachtaithe: De ghnáth teastaíonn teocht níos airde, timpeall 950°C, le gníomhachtú eisíontais. Mar thoradh ar theocht níos airde bíonn rátaí gníomhachtaithe níos mó den eisíontas, ach is féidir le teochtaí ró-ard a bheith ina chúis le ró-idirleathadh eisíontais, rud a chuireann isteach ar fheidhmíocht gléas.

3. Modhnú scannáin:

  - Dlúsú: Féadann anáil scannáin scaoilte a dhlúsú agus a n-airíonna a athrú le linn eitseála tirim nó fliuch.

  - Tréleictreach geata ard-k: Tar éis fás tréleictreach geata ard-k, féadann sé feabhas a chur ar airíonna tréleictreach, sruth sceite geata a laghdú, agus tairiseach tréleictreach a mhéadú, tar éis fás tréleictreach geata ard-k.

4. Foirmiú silicíde miotail:

  - Céim chóimhiotail: Imoibríonn scannáin mhiotail (m.sh. cóbalt, nicil, agus tíotáiniam) le sileacain chun cóimhiotail a fhoirmiú. Mar thoradh ar choinníollacha teochta annealing éagsúla foirmiú céimeanna cóimhiotail éagsúla.

  - Optimization feidhmíochta: Trí rialú a dhéanamh ar an teocht agus an t-am annealing, is féidir céimeanna cóimhiotail le friotaíocht íseal teagmhála agus friotaíocht comhlacht a bhaint amach.

Cineálacha éagsúla de phróisis annealing

1. Annealing Foirnéise Ard-Teocht:

Gnéithe: Modh análaithe traidisiúnta le teocht ard (de ghnáth os cionn 1000 ° C) agus am anála fada (roinnt uaireanta).

Iarratas: Oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn buiséad ard teirmeach uathu, mar shampla ullmhú substráit SOI agus idirleathadh domhain n-tobar.

2. Anáil Mhear Teirmeach (RTA):

Gnéithe: Trí leas a bhaint as na saintréithe a bhaineann le téamh agus fuarú tapa, is féidir anáil a chríochnú i mbeagán ama, de ghnáth ag teocht timpeall 1000 ° C agus am soicind.

Iarratas: Go háirithe oiriúnach chun acomhail ultra-éadomhain a fhoirmiú, is féidir leis an iomarca idirleata neamhíonachtaí a laghdú go héifeachtach agus is cuid fíor-riachtanach de dhéantúsaíocht nód chun cinn é.

3. Flash Lampa Annealing (FLA):

Features: Use high-intensity flash lamps to heat the surface of silicon wafers in a very short time (milliseconds) to achieve rapid annealing.

Iarratas: Oiriúnach do ghníomhachtú dópála ultra-éadomhain le leithead líne faoi bhun 20nm, a fhéadfaidh idirleathadh eisíontais a íoslaghdú agus ráta gníomhachtaithe ard eisíontais á chothabháil.

4. Laser Spike Annealing (LSA):

Gnéithe: Úsáid foinse solais léasair chun an dromchla sliseog sileacain a théamh in achar an-ghearr (micreasoicindí) chun annealing logánta agus ard-chruinneas a bhaint amach.

Feidhmchlár: Go háirithe oiriúnach do nóid ardphróisis a dteastaíonn rialú ardchruinneas uathu, amhail monarú FinFET agus feistí geata ard-k/miotail (HKMG).

Cuireann Semicorex ardchaighdeán ar fáilPáirteanna brataithe CVD SiC/TaCle haghaidh annealing teirmeach. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com