Cad iad na Buntáistí agus na Míbhuntáistí a bhaineann le Eitseáil Thirim agus Eitseáil Fhliuch?

1. Cad is Eitseáil Thirim agus Fhliuch ann?

Teicníc is ea eitseáil thirim nach mbíonn aon leacht i gceist leis, agus ina ionad sin baintear úsáid as plasma nó gáis imoibríocha chun an t-ábhar soladach a eitseáil ar an dromchla sliseog. Tá an modh seo fíor-riachtanach i dtáirgeadh an chuid is mó de tháirgí sliseanna, mar chuimhne DRAM agus Flash, nuair nach féidir eitseáil fliuch a úsáid. Ar an láimh eile, baineann eitseáil fhliuch le húsáid réitigh cheimiceacha leachtacha chun an t-ábhar soladach a eitseáil ar an dromchla wafer. Cé nach bhfuil sé infheidhme go huilíoch maidir le gach táirge sliseanna, úsáidtear eitseáil fliuch go forleathan i bpacáistiú leibhéal wafer, MEMS, feistí optoelectronic, agus fótavoltach.

2. Cad iad na Tréithe a bhaineann le Eitseáil Thirim agus Fhliuch?

Ar dtús, déanaimis soiléiriú ar choincheapa an eitseála iseatrópacha agus anisotrópacha. Tagraíonn eitseáil isotrópach do ráta eitseála atá aonfhoirmeach i ngach treo ar an eitleán céanna, cosúil leis an gcaoi a scaipeann ripples go haonfhoirmeach nuair a chaitear cloch isteach in uisce socair. Ciallaíonn eitseáil anisotrópach go n-athraíonn an ráta eitseála i dtreonna difriúla ar an eitleán céanna.

Tá eitseáil fliuch isotrópach. Nuair a thagann an sliseog i dteagmháil leis an tuaslagán eitseála, eitseáileann sé síos agus is cúis le heitseáil cliathánach freisin. Is féidir leis an eitseáil cliathánach seo difear a dhéanamh ar leithead na líne sainithe, rud a fhágann go bhfuil diallais shuntasacha eitseála ann. Mar sin, tá sé dúshlánach eitseáil fliuch a rialú go beacht le haghaidh cruthanna eitseála, rud a fhágann nach bhfuil sé chomh hoiriúnach do ghnéithe níos lú ná 2 mhicriméadar.

I gcodarsnacht leis sin, ceadaíonn eitseáil thirim rialú níos cruinne ar an gcruth eitseála agus cuireann sé modhanna eitseála níos solúbtha ar fáil. Is féidir le heitseáil thirim eitseáil isotrópach agus anisotrópach araon a bhaint amach. Is féidir le heitseáil anisotrópach próifílí barrchaolaithe (uillinn <90 céim) agus ingearach (uillinn ≈90 céim) a tháirgeadh.

Mar achoimre:

1.1 Buntáistí Eitseáil Thirim (m.sh., RIE)

Treoúlacht: Is féidir leis treo ard a bhaint amach, rud a fhágann go bhfuil ballaí taobh ingearacha agus cóimheasa ardghnéithe ann.

Roghnaíocht: Féadann sé roghnaíocht eitseála a bharrfheabhsú trí gháis agus paraiméadair eitseála ar leith a roghnú.

Ardtaifeach: Oiriúnach do ghnéithe mín agus eitseáil trinse domhain.

1.2 Buntáistí Eitseáil Fhliuch

Simplíocht agus Éifeachtúlacht Costas: Go ginearálta bíonn leachtanna agus trealamh eitseála níos eacnamaí ná iad siúd a úsáidtear le haghaidh eitseála tirim.

Aonfhoirmeacht: Soláthraíonn sé eitseáil aonfhoirmeach ar fud an sliseog ar fad.

Níl Trealamh Coimpléascach ag Teastáil: Go hiondúil ní bhíonn de dhíth ach folcadh tumtha nó trealamh casadh-chóireála.

3. Roghnú Idir Eitseáil Thirim agus Fhliuch

Gcéad dul síos, bunaithe ar riachtanais phróiseas an táirge sliseanna, más rud é nach féidir ach eitseáil tirim an tasc eitseála a chur i gcrích, roghnaigh eitseáil tirim. Más féidir leis an eitseáil tirim agus fliuch na ceanglais a chomhlíonadh, is fearr go ginearálta eitseáil fliuch mar gheall ar a éifeachtúlacht costais. Má tá gá le rialú beacht ar leithead na líne nó ar uillinneacha ingearacha/téaptha, roghnaigh eitseáil thirim.

Mar sin féin, ní mór struchtúir speisialta áirithe a eitseáil trí úsáid a bhaint as eitseáil fhliuch. Mar shampla, i MEMS, ní féidir struchtúr pirimid inbhéartaithe sileacain eitseáilte a bhaint amach ach amháin trí eitseáil fhliuch.**