Ionchlannú ian agus Próiseas Idirleata

Is modh dópála leathsheoltóra é ionchlannú ian agus tá sé ar cheann de na príomhphróisis i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.

Cén fáth dópáil?

Níl aon iompróirí saora (leictreoin nó poill) istigh ag sileacain íon/sileacain intreach agus tá seoltacht lag aige. I dteicneolaíocht leathsheoltóra, is éard atá i gceist le dópáil méid an-bheag d'adamh eisíontais a chur le sileacain intreach chun airíonna leictreacha sileacain a athrú, rud a fhágann go bhfuil sé níos seoltaí agus dá bhrí sin is féidir é a úsáid chun feistí leathsheoltóra éagsúla a mhonarú. Is féidir le dópáil n chineál nó dópáil cineál-p a bheith i gceist leis an ndópáil. Dhópáil n-cineál: baintear amach trí eilimintí pentavalent (cosúil le fosfar, arsanaic, etc.) a dhó i sileacain; dópáil de chineál p: baintear amach é trí eilimintí trífhiúsacha (cosúil le bórón, alúmanam, etc.) a dhó i sileacain. Cuimsíonn modhanna dópála idirleathadh teirmeach agus ionchlannú ian de ghnáth.

Modh idirleathadh teirmeach

Is éard atá i gceist le idirleathadh teirmeach ná eilimintí neamhíonachta a aistriú go sileacain trí théamh. Is é is cúis le himirce na substainte seo ná gás neamhíonachta ard-tiúchana i dtreo an tsubstráit sileacain íseal-tiúchana, agus déantar a modh imirce a chinneadh ag difríocht tiúchana, teocht, agus comhéifeacht idirleata. Is é a phrionsabal dópála ná go bhfaighidh na hadaimh sa sliseog sileacain agus na hadaimh sa fhoinse dópála go leor fuinnimh le gluaiseacht ag teocht ard. Déantar adaimh na foinse dópála a asaithe ar dtús ar dhromchla an wafer sileacain, agus ansin déantar na hadaimh seo a dhíscaoileadh i gciseal dromchla an wafer sileacain. Ag teochtaí arda, idirleata adaimh dópála isteach trí bhearnaí laitíse an sliseog sileacain nó ionadaíonn siad suíomhanna na n-adamh sileacain. Faoi dheireadh, sroicheann na hadaimh dópála cothromaíocht dáilte áirithe taobh istigh den sliseog. Tá costais íseal agus próisis aibithe ag an modh idirleathadh teirmeach. Mar sin féin, tá roinnt teorainneacha aige freisin, mar shampla rialú doimhneacht dópála agus níl an tiúchan chomh beacht le hionchlannú ian, agus féadfaidh an próiseas teocht ard damáiste laitíse a thabhairt isteach, etc.

Ionchlannú ian:

Tagraíonn sé do na heilimintí dópála a ianú agus bhíoma ian a fhoirmiú, a luasghéaraítear go fuinneamh áirithe (leibhéal keV ~ MeV) trí ardvoltas chun imbhualadh leis an tsubstráit sileacain. Ionchlannaítear na hiain dópála go fisiciúil isteach sa sileacain chun airíonna fisiceacha limistéar dópáilte an ábhair a athrú.

Buntáistí ionchlannú ian:

Is próiseas íseal-teocht é, is féidir monatóireacht a dhéanamh ar an méid ionchlannú / méid dópála, agus is féidir an t-ábhar eisíontais a rialú go beacht; is féidir doimhneacht ionchlannú na n-eisíontas a rialú go beacht; tá an aonfhoirmeacht neamhíonachta maith; i dteannta leis an masc crua, is féidir photoresist a úsáid freisin mar masc; níl sé teoranta ag comhoiriúnacht (tá an tiúchan uasta teoranta ag díscaoileadh na n-adamh eisíontais i gcriostail sileacain de bharr dópála idirleata teirmeach, agus tá teorainn díscaoilte cothromaithe ann, agus is próiseas fisiceach neamhchothromaithe é an t-ionchlannú ian. Déantar adaimh eisíontais a instealladh. isteach criostail sileacain le fuinneamh ard, is féidir a bheith níos mó ná an teorainn thuaslagadh nádúrtha na n-eisíontais i criostail sileacain.

Prionsabal an ionchlannú ian:

Ar dtús, buaileann leictreoin adaimh gháis eisíonachta san fhoinse ian chun iain a ghiniúint. eastósctar na hiain ianaithe ag an gcomhpháirt shúchán chun léas iain a dhéanamh. Tar éis anailís mhaighnéadach, déantar na hiain a bhfuil cóimheasa mais-go-luchtú éagsúla acu a shraonadh (toisc go bhfuil ní hamháin go bhfuil an bhíoma ian den eisíontas sprice sa bhíoma ian a fhoirmítear sa tosaigh, ach freisin bhíoma ian na n-eilimintí ábhartha eile, nach mór a scagadh. amach), agus tá an bhíoma ian eilimint eisíontais íon a chomhlíonann na ceanglais scartha, agus ansin luasghéaraítear é ag ardvoltas, déantar an fuinneamh a mhéadú, agus tá sé dírithe agus scanadh leictreonach, agus ar deireadh buailte ag an suíomh sprioc chun ionchlannú a bhaint amach.

Tá na neamhíonachtaí a ionchlannaítear le hiain neamhghníomhach go leictreach gan chóireáil, mar sin tar éis ionchlannú ian, go ginearálta déantar iad a chur faoi annealing ardteochta chun na hiain eisíontais a ghníomhachtú, agus is féidir le teocht ard an damáiste laitíse de bharr ionchlannú ian a dheisiú.

Cuireann Semicorex ardchaighdeán ar fáilPáirteanna SiCi bpróiseas ionchlannú ian agus idirleata. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com