Foirnéise Fáis Criostail Carbide Sileacain (SIC).

Is é fás criostail an nasc lárnach i dtáirgeadh naFoshraitheanna Silicon Carbide, agus is é an trealamh lárnach an foirnéis fás criostail. Cosúil le foirnéisí fáis criostail traidisiúnta de ghrád sileacain, níl an struchtúr foirnéise an-chasta agus tá sé comhdhéanta go príomha de chomhlacht foirnéise, córas téimh, meicníocht tarchurtha coil, córas fála agus tomhais i bhfolús, córas cosán gáis, córas fuaraithe. , córas rialaithe, etc., i measc a chinneann réimse teirmeach agus coinníollacha próisis cáilíocht, méid, airíonna seoltaí agus príomhtháscairí eileCriostail Silicon Carbide.

An teocht le linn an fáscriostail chomhdhúile sileacainTá sé an-ard agus ní féidir monatóireacht a dhéanamh air, mar sin is sa phróiseas féin an phríomhdheacracht.

(1) Is deacair rialú réimse teirmeach: Tá monatóireacht a dhéanamh ar chuas ardteochta dúnta deacair agus neamhrialaithe. Difriúil ó réiteach traidisiúnta sileacain-bhunaithe trealamh fáis criostail Czochralski, a bhfuil leibhéal ard uathoibrithe agus is féidir leis an bpróiseas fáis criostail a fheiceáil agus a rialú, fásann criostail chomhdhúile sileacain i spás dúnta ag teocht ard os cionn 2,000 ° C, agus an ní mór an teocht fáis a rialú go beacht le linn táirgeadh. , tá rialú teochta deacair;

(2) Tá sé deacair an fhoirm criostail a rialú: tá seans maith go dtarlóidh lochtanna cosúil le microtubules, inclusions polytype, agus dislocations le linn an phróisis fáis, agus idirghníomhaíonn agus éabhlóid siad lena chéile. Is lochtanna treáiteacha iad micrea-phíopaí (MP) le méideanna ó chúpla miocrón go dtí na deich miocrón agus is lochtanna marfacha iad ar fheistí; cuimsíonn criostail aonair chomhdhúile sileacain níos mó ná 200 foirmeacha criostail éagsúla, ach níl ach cúpla struchtúr criostail (cineál 4H) Is ábhar leathsheoltóra atá ag teastáil le haghaidh táirgeadh. Le linn an phróisis fáis, tá seans maith go dtarlóidh claochlú criostalach, rud a fhágann go bhfuil lochtanna cuimsithe ilchineálacha. Dá bhrí sin, is gá paraiméadair a rialú go cruinn mar chóimheas sileacain-charbóin, grádán teocht fáis, ráta fáis criostail, agus brú sreafa aeir. Ina theannta sin, chomhdhúile sileacain fás criostail aonair Tá grádán teocht sa réimse teirmeach, as a dtagann lochtanna cosúil le strus inmheánach dúchais agus dislocations mar thoradh air (dislocation eitleáin basal BPD, dislocation scriú TSD, dislocation imeall TED) le linn na criostail. próiseas fáis, rud a dhéanann difear don epitaxy agus na feistí ina dhiaidh sin. cáilíocht agus feidhmíocht.

(3) Tá sé deacair rialú dópála: ní mór tabhairt isteach na n-eisíontais sheachtracha a rialú go docht chun criostail seoltacha dhópáilte a fháil;

(4) Ráta fáis mall: Tá an ráta fáis criostail de chomhdhúile sileacain an-mhall. Ní thógann sé ach 3 lá le haghaidh ábhar sileacain traidisiúnta a fhás i slat criostail, agus tógann sé 7 lá le haghaidh slat criostail chomhdhúile sileacain. Mar thoradh air seo tá laghdú nádúrtha ar éifeachtacht táirgthe chomhdhúile sileacain. Níos ísle, tá aschur an-teoranta.

Ar an láimh eile, tá na paraiméadair a bhaineann le fás epitaxial chomhdhúile sileacain an-éilitheach, lena n-áirítear aerdhíonacht an trealaimh, cobhsaíocht brú an tseomra imoibrithe, rialú beacht ar an am a thabhairt isteach gáis, cruinneas an chóimheas gáis, agus an dian. bainistíocht na teochta sil-leagan. Go háirithe de réir mar a mhéadaíonn leibhéal voltais na bhfeistí, méadaíonn an deacracht a bhaineann le croí-pharaiméadair na sliseog epitaxial a rialú go suntasach.

Ina theannta sin, de réir mar a mhéadaíonn tiús na ciseal epitaxial, conas an aonfhoirmeacht friotachais a rialú agus an dlús locht a laghdú agus an tiús a chinntiú tar éis éirí ina dhúshlán mór eile. I gcórais rialaithe leictrithe, is gá braiteoirí agus actuators ardchruinneas a chomhtháthú lena chinntiú go bhféadfar paraiméadair éagsúla a rialú go cruinn agus go cobhsaí. Ag an am céanna, tá sé ríthábhachtach freisin leas iomlán a bhaint as an algartam rialaithe. Caithfidh sé a bheith in ann an straitéis rialaithe a choigeartú bunaithe ar chomharthaí aiseolais i bhfíor-am chun oiriúnú d'athruithe éagsúla sa phróiseas fáis epitaxial chomhdhúile sileacain.

Cuireann Semicorex ardchaighdeán ar fáilcomhpháirteanna le haghaidh fás criostail SiC. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com