Cad is Bád SiC ann, agus Cad iad na Próisis Déantúsaíochta Éagsúla atá aici?

1. Na Próisis Déantúsaíochta Éagsúla deBád SiC

(1) Cumhdach sraith deScannán Sicar dhromchla graifítbáid chriostaltrí CVD

Tá croí graifít ag an gcineál bád seo, atá meaisínithe i bpíosa amháin. Ach,tá graifít scagachagus seans maith go giniúint cáithníní, rud a fhágann gur gá aCumhdach scannán SiCar a dhromchla. Mar gheall ar an neamhréir sa Chomhéifeacht Leathnaithe Teirmeach (CTE) idir corp na graifíte agus anScannán Sic, is dócha go n-éireoidh an sciath amach tar éis il-thimthriallta teasa agus fuaraithe, rud a fhágann go n-éileofar cáithníní. Is iad na báid seo na báid is lú costasaí agus saolré thart ar bhliain amháin acu.

(2) Cumhdach sraith deScannán Sicar athchriostalúBáid criostail SiC

Athchriostalaithebáid SiCatá scagach freisin agus is féidir leo cáithníní a ghiniúint go héasca. Dá bhrí sin, na comhpháirteanna aonair an recrystallizedbáid SiCní mór é a réamhfhoirmiú, a shintéiriú, agus ansin meaisínithe ar leithligh. Ina dhiaidh sin, nasctar na comhpháirteanna le chéile ag teochtaí arda ag baint úsáide as Si greamaigh. Chomh luath agus a chuirtear le chéile i mbád amháin é, aScannán Sica chuirtear i bhfeidhm trí CVD. Rinne sé seo athchriostalúBád SiCtá an próiseas déantúsaíochta is faide agus tá sé costasach, ach an dromchlaCumhdach CVDdamáiste a dhéanamh freisin, le saolré de thart ar thrí bliana.

(3)monolithicBáid criostail SiC

iad seobáidcomhdhéanta go hiomlán d'ábhar sic. Ní mór púdar SiC a mhúnlú agus a shintéiriú i gcruth bád monolithic. Tá siad thar a bheith costasach, tá siad an-mharthanach agus is lú an seans go nginfidh siad cáithníní. Mar sin féin, tá sileacain 10-15% saor in aisce sna báid seo, rud a d’fhéadfadh a bheith creimthe ag fluairín agus clóirín, rud a fhágann éilliú cáithníní.

2. Cén fáth nach moltar Tirimghlanadh?

Go hachomair, le haghaidhbáid SiCbrataithe le aScannán SiC trí CVD, tá an sciath dromchla seans maith le feannadh le linn glanadh tirim, rud a fhágann éilliú cáithníní. Le haghaidh monolithicbáid SiCina bhfuil méid beag sileacain saor in aisce, is féidir creimeadh agus giniúint cáithníní a bheith mar thoradh ar nochtadh do gháis ina bhfuil fluairín nó clóirín, rud a fhágann éilliú.**