Próiseas Gearrtha agus Meilt Foshraithe

Is é ábhar tsubstráit SiC croílár sliseanna SiC. Is é próiseas táirgthe an tsubstráit ná: tar éis an ingot criostail SiC a fháil trí fhás criostail aonair; ansin ag ullmhú anFoshraith SiCéilíonn smúdála, chothromú, gearradh, meilt (tanú); snasú meicniúil, snasú meicniúil ceimiceach; agus glanadh, tástáil, etc. Próiseas

Tá trí phríomh-mhodh fáis criostail ann: iompar gaile fisiceach (PVT), taisceadh gaile ceimiceach ardteocht (HT-CVD) agus epitaxy chéim leachtach (LPE). Is é an modh PVT an modh príomhshrutha d'fhás tráchtála foshraitheanna SiC ag an gcéim seo. Tá teocht fáis criostail SiC os cionn 2000 ° C, a éilíonn teocht ard agus rialú brú. Faoi láthair, tá fadhbanna cosúil le dlús dislocation ard agus lochtanna criostail ard.

Gearrtar an tinne criostail ina sliseog le haghaidh próiseála ina dhiaidh sin. Bíonn tionchar ag an modh gearrtha ar chomhordú meilt ina dhiaidh sin agus próisis eile de sliseog tsubstráit chomhdhúile sileacain. Tá gearradh tinne bunaithe go príomha ar ghearradh il-sreang moirtéal agus gearradh chonaic sreang Diamond. Gearrtar an chuid is mó de na sliseog SiC atá ann faoi láthair le sreang diamanta. Mar sin féin, tá cruas ard agus brittleness ag SiC, rud a fhágann go mbíonn toradh íseal wafer agus costas ard inchaite ar shreanga gearrtha. Ceisteanna casta. Ag an am céanna, tá am gearrtha na sliseog 8-orlach i bhfad níos faide ná sin na sliseog 6-orlach, agus tá an baol go n-éireoidh línte gearrtha greamaithe níos airde freisin, rud a fhágann go laghdaítear an toradh.

Is é treocht forbartha na teicneolaíochta gearrtha tsubstráit ná gearradh léasair, a fhoirmíonn ciseal modhnaithe taobh istigh den chriostail agus a scoiteann an wafer as an criostail chomhdhúile sileacain. Is próiseáil neamhtheagmhála é gan caillteanas ábhartha agus gan aon damáiste strus meicniúil, agus mar sin tá an caillteanas níos ísle, tá an toradh níos airde, agus an próiseáil Tá an modh solúbtha agus tá cruth dromchla próiseáilte SiC níos fearr.

Foshraith SiCcuimsíonn próiseáil meilt meilt (tanú) agus snasta. Áirítear go príomha le próiseas planarization substráit SiC dhá bhealach próiseas: meilt agus tanú.

Tá meilt roinnte ina meilt garbh agus meilt fíneáil. Is é an réiteach próiseas meilt garbh príomhshrutha diosca iarann ​​teilgthe in éineacht le sreabhach meilt Diamond criostail aonair. Tar éis forbairt púdar diamanta polycrystalline agus púdar diamanta polycrystalline-mhaith, is é an réiteach próiseas meilt fíneáil chomhdhúile sileacain ná eochaircheap polúireatán in éineacht le sreabhán meilt fíneáil polycrystalline-mhaith. Is é an réiteach próisis nua ná ceap snasta cíor meala in éineacht le scríobaigh ceirtleánaithe.

Tá an tanú roinnte ina dhá chéim: meilt garbh agus meilt fíneáil. Glactar leis an réiteach meaisín tanaithe agus roth meilt. Tá ardleibhéal uathoibrithe aige agus táthar ag súil go gcuirfear an bealach teicniúil meilt in ionad. Tá an réiteach próiseas tanaithe sruthlínithe, agus is féidir le tanú na rothaí meilte ardchruinneas snasta meicniúil aon-thaobh (DMP) a shábháil don fháinne snasta; tá luas próiseála tapa ag baint úsáide as rothaí meilte, rialú láidir ar chruth an dromchla próiseála, agus tá sé oiriúnach do phróiseáil wafer mór-mhéid. Ag an am céanna, i gcomparáid le próiseáil dhá thaobh na meilt, is próiseas próiseála aon-thaobh é an tanú, atá ina phríomh-phróiseas chun taobh chúl an wafer a mheilt le linn déantúsaíochta epitaxial agus pacáistiú wafer. Is é an deacracht a bhaineann leis an bpróiseas tanaithe a chur chun cinn ná an deacracht a bhaineann le taighde agus forbairt na rothaí meilte agus na riachtanais ard teicneolaíochta déantúsaíochta. Tá leibhéal logánaithe na rothaí meilte an-íseal, agus tá costas na n-earraí inchaite ard. Faoi láthair, tá an margadh roth meilt á áitiú go príomha ag DISCO.

Úsáidtear snasú chun anFoshraith SiC, deireadh a chur le scratches dromchla, garbh a laghdú agus deireadh a chur le strus próiseála. Tá sé roinnte ina dhá chéim: snasta garbh agus snasta fíneáil. Is minic a úsáidtear leacht snasta alúmana le haghaidh snasta garbh ar chomhdhúile sileacain, agus úsáidtear leacht snasta ocsaíd alúmanaim den chuid is mó le haghaidh snasta fíneáil. Sreabhán snasta ocsaíd sileacain.