Breogán Cumhdach TaC le haghaidh Fás Criostail AlN

Baineann an tríú glúin d'ábhair leathsheoltóra AlN leis an leathsheoltóir bandgap díreach, a bandaleithead de 6.2 eV, le seoltacht teirmeach ard, friotachas, neart réimse miondealú, chomh maith le cobhsaíocht cheimiceach agus teirmeach den scoth, ní hamháin solas gorm tábhachtach, ábhair ultraivialait. , nó feistí leictreonacha agus ciorcaid chomhtháite, pacáistiú tábhachtach, aonrú tréleictreach agus ábhair inslithe, go háirithe le haghaidh feistí ard-chumhachta ardteochta. Ina theannta sin, tá dea-mheaitseáil theirmeach agus comhoiriúnacht cheimiceach ag AlN agus GaN, is féidir le AlN a úsáidtear mar shubstráit epitaxial GaN, an dlús locht i bhfeistí GaN a laghdú go suntasach, feidhmíocht gléas a fheabhsú.

Faoi láthair, tá an cumas ag an domhan tinní AlN a fhás le trastomhas de 2 orlach, ach tá go leor fadhbanna fós le réiteach maidir le fás criostail méid níos mó, agus is é an t-ábhar breogán ceann de na fadhbanna.

Déantar an modh PVT d'fhás criostail AlN i dtimpeallacht ardteochta, gásúchán AlN, iompar gás-chéim agus gníomhaíochtaí athchriostalaithe i breogáin réasúnta dúnta, agus mar sin tá friotaíocht ard teochta, friotaíocht creimeadh agus saol seirbhíse fada tar éis éirí mar tháscairí tábhachtacha d'ábhair bhreogán le haghaidh Fás criostail AlN.

Is iad na hábhair atá ar fáil faoi láthair ná criadóireacht miotail teasfhulangacha W agus TaC go príomha. Tá saol gearr breogáin ag breogáin W mar gheall ar a n-imoibriú mall le AlN agus creimeadh carbónúcháin i bhfoirnéisí atmaisféar C. Faoi láthair, tá na hábhair breogán fáis criostail fíor AlN dírithe go príomha ar ábhair TaC, is cumaisc dhénártha é leis an bpointe leá is airde a bhfuil airíonna fisiceacha agus ceimiceacha den scoth, mar shampla leáphointe ard (3,880 ℃), cruas ard Vickers (＞9.4 GPa) agus modúl leaisteachas ard; tá seoltacht theirmeach den scoth aige, seoltacht leictreach, agus friotaíocht le creimeadh ceimiceach (ach tuaslagtha i dtuaslagán measctha aigéad nítreach agus aigéad hidreafluarach). Tá dhá fhoirm ag baint le húsáid TaC i breogán: tá ceann acu ina breogán TaC é féin agus tá an ceann eile mar bhratú cosanta ar bhreogán graifíte.

Tá na buntáistí a bhaineann le íonacht ardchriostail agus caillteanas beag cáilíochta ag an breogán TaC, ach tá an breogán deacair a fhoirmiú agus tá costas ard aige. Tá an breogán graifíte TaC-brataithe, a chomhcheanglaíonn próiseáil éasca ábhar graifíte agus éilliú íseal breogán TaC, i bhfabhar ag na taighdeoirí agus cuireadh i bhfeidhm go rathúil é ar fhás criostail AlN agus criostail SiC. Trí phróiseas sciath TaC a bharrfheabhsú a thuilleadh agus feabhas a chur ar cháilíocht an bhrataithe, déanfar anBreogán graifíte atá brataithe le TaCBeidh an chéad rogha le haghaidh breogán fáis criostail AlN, a bhfuil luach taighde iontach aige chun costas fáis criostail AlN a laghdú.