2023-04-06
Is teicníc é MOCVD, ar a dtugtar Miotal-Organach Cheimiceach Taisce Gaile (MOCVD), chun scannáin tanaí leathsheoltóra a fhás ar fhoshraith. Le MOCVD, is féidir go leor nana-sraitheanna a thaisceadh le cruinneas mór, gach ceann acu le tiús rialaithe, chun ábhair a fhoirmiú a bhfuil airíonna optúla agus leictreacha sonracha acu.
Is cineál córais sil-leagain gaile ceimiceach (CVD) é córas MOCVD a úsáideann réamhtheachtaithe orgánacha miotail chun scannáin tanaí ábhair a thaisceadh ar fhoshraith. Tá an córas comhdhéanta de shoitheach imoibreora, córas seachadta gáis, sealbhóir substráit, agus córas rialaithe teochta. Cuirtear na réamhtheachtaithe orgánacha miotail isteach sa soitheach imoibreora in éineacht le gás iompróra, agus déantar an teocht a rialú go cúramach chun fás scannán tanaí ardteochta a chinntiú.
Tá buntáistí éagsúla ag baint le húsáid MOCVD thar theicnící eile sil-leagan. Buntáiste amháin is ea go gceadaíonn sé ábhair chasta a thaisceadh le rialú beacht ar thiús agus ar chomhdhéanamh na scannán tanaí. Tá sé seo tábhachtach go háirithe maidir le feistí leathsheoltóra ardfheidhmíochta a tháirgeadh, nuair is féidir tionchar suntasach a bheith ag airíonna ábhartha na scannáin tanaí ar fheidhmíocht na feiste.
Buntáiste eile a bhaineann le MOCVD ná gur féidir é a úsáid chun scannáin tanaí a thaisceadh ar fhoshraitheanna éagsúla, lena n-áirítear sileacain, sapphire, agus arsenide Gailliam. Déanann an tsolúbthacht seo próiseas riachtanach é i ndéantúsaíocht raon leathan feistí leathsheoltóra, ó sceallóga ríomhaire go soilse stiúir.
Úsáidtear córais MOCVD go forleathan sa tionscal leathsheoltóra, agus bhí siad ríthábhachtach i bhforbairt go leor ardteicneolaíochtaí. Mar shampla, baineadh úsáid as MOCVD chun stiúir ard-éifeachtúlachta a tháirgeadh le haghaidh soilsiú agus feidhmchláir taispeána, chomh maith le cealla gréine ardfheidhmíochta le haghaidh feidhmeanna fótavoltach.