Príomhchineálacha Ocsaídiú Teirmeach

I ndéantúsaíocht gléas leathsheoltóra ard-deireadh, cruthaítear scannáin SiO₂ de ghnáth trí phróisis ocsaídiúcháin le haghaidh cóireáil dromchla an tsubstráit, agus cuimsíonn a n-iarratas coitianta sraitheanna bacainn dopant, sraitheanna inslithe dromchla, sraitheanna ocsaíd geata, ocsaídí páirce agus ocsaídí íobartacha. Mar na próisis lárnacha i ndéantúsaíocht wafer, bunaithe ar an atmaisféar ocsaídiúcháin, déantar ocsaídiú teirmeach a aicmiú i ocsaídiú tirim, ocsaídiú ocsaigine fliuch agus ocsaídiú gaile.

Ocsaídiú Tirim

Déantar ocsaídiú tirim trí ocsaigin íon agus tirim a thabhairt isteach sa seomra imoibrithe. Ag teochtaí arda, imoibríonn móilíní ocsaigine le hadaimh sileacain ar an dromchla wafer chun ciseal tosaigh SiO₂ a fhoirmiú, ag blocáil teagmháil dhíreach idir móilíní ocsaigine agus an dromchla sileacain. Sa phróiseas ocsaídiúcháin ina dhiaidh sin, caithfidh móilíní ocsaigine idirleathadh tríd an gciseal SiO₂ atá ann cheana féin chun an comhéadan Si/SiO₂ a bhaint amach le haghaidh tuilleadh imoibrithe. Ar an gcúis seo, tá an comhéadan Si / SiO₂ ag athrú i gcónaí, rud a fhágann go bhfuil SiOₓ neamhiomlán idir an ciseal ocsaíd deiridh agus an tsubstráit, rud a fhágann go gcruthófar stáit comhéadan. Tá struchtúr dlúth, aonfhoirmeacht níos fearr agus atrialltacht próisis den scoth ag an gciseal SiO₂ a fhoirmítear trí ocsaídiú tirim. Nascann siad go daingean le fótaisintéis neamhpholach, cuireann siad cosc ​​ar fheannadh fótaisintéiseach agus cinntíonn siad taifeach iontach liteagrafaíochta, rud a fhágann gurb iad an rogha is fearr le haghaidh sraitheanna ocsaíde a dhéanann teagmháil le fótaréis.

Is malairt ocsaídiúcháin thirim é ocsaídiú dópáilte clóirín. Le linn an phróisis, cuirtear méid beag de chomhdhúile gásach ina bhfuil clóirín ar nós gás clóirín, clóiríd hidrigine, trichlorethylene nó trichloroethane le ocsaigin tirim. Ionchorpraíonn clóirín isteach sa chiseal ocsaíd agus carnann sé in aice leis an gcomhéadan SiO₂/Si. Gabhann sé iain shoghluaiste (m.sh. iain sóidiam) agus díghníomhaíonn sé iad. Idir an dá linn, foirmíonn clóirín coimpléisc Cl-Si-O ag an gcomhéadan, a neodaíonn muirir chomhéadain agus a líonann folúntais ocsaigine. Laghdaíonn sé seo dlús stáit comhéadan agus íoslaghdaíonn sé lochtanna laistigh den scannán SiO₂. Ag teochtaí arda, imoibríonn clóirín le neamhíonachtaí carntha i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin a úsáidtear go fadtéarmach chun comhdhúile so-ghalaithe a fhoirmiú a sceitear amach as an seomra. Laghdaíonn ocsaídiú dópáilte clóirín neamhíonachtaí sileacain, íslíonn sé ionaid athcheangail agus méadaíonn sé saolré an iompróra mionlaigh.

Ocsaídiú gaile

Úsáideann ocsaídiú gaile gal uisce taobh istigh den seomra imoibrithe. Gintear an gal uisce ó uisce dí-ianaithe ard-íonachta nó imoibriú dócháin gás hidrigine agus ocsaigine. Ag teochtaí arda, imoibríonn gal uisce le sileacain ar an dromchla wafer chun an ciseal SiO₂ tosaigh a fhoirmiú. Imoibríonn móilíní uisce ar dtús leis an dromchla SiO₂ chun grúpaí silanóil (Si-OH) a fhoirmiú. Scaipeann na grúpaí seo tríd an gciseal ocsaíd go dtí an comhéadan SiO₂/Si agus leanann siad ag imoibriú le hadaimh sileacain. Éalaíonn an chuid is mó den hidrigin a ghintear ón gcomhéadan, agus nascann cuid acu le hocsaigin chun grúpaí hiodrocsaile (-OH) a fhoirmiú.

Tá struchtúr silanol ag an scannán SiO₂ a tháirgtear trí ocsaídiú gaile le hadaimh ocsaigine neamh-idirlinne, áit a nascann gach adamh ocsaigine le haon adamh sileacain amháin. Tá scannáin ocsaíd den sórt sin chomh dlúth agus tá droch-atrialltacht próisis acu. Déanann na grúpaí hiodrocsaile an taise a ionsú go héasca agus déanann siad an scannán polach, rud a fhágann go bhfuil droch-ghreamaitheacht le fótairéiseach neamhpholach agus ardú fótairéiseach go minic. Mar gheall ar a struchtúr scaoilte, téann ocsaídiú gaile ar aghaidh i bhfad níos tapúla ná ocsaídiú tirim.

Ocsaídiú Fliuch Ocsaigin

Le haghaidh ocsaídiúcháin ocsaigine fliuch, téann gás ocsaigine trí uisce dí-ianaithe ard-íonachta téite sula dtéann sé isteach sa seomra imoibrithe, ionas go n-iompraíonn an ocsaigin tiúchan áirithe gal uisce. Déantar an t-ábhar gal uisce a chinneadh ag teocht agus ráta sreafa gáis. Comhcheanglaíonn an próiseas seo tréithe ocsaídiúcháin tirim agus ocsaídiúcháin gaile. Tá a ráta ocsaídiúcháin níos airde ná ocsaídiú tirim ach níos ísle ná ocsaídiú gaile. I dtéarmaí cáilíochta scannáin, tá ocsaídiú ocsaigine fliuch níos lú ná ocsaídiú tirim ach níos fearr fós ná ocsaídiú gaile.

Cuireann Semicorex ardchaighdeán ar fáilbáid grianchlochagusfeadáin Grianchlochle haghaidh próisis ocsaídiúcháin teirmeach. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com