Comhpháirteanna agus Feidhmchláir Choiteanna Grianchloch Leathsheoltóra

Baineann Grianchloch le córas criostail triantánach, atá ina chriostail mianraí creat tríthoiseach comhdhéanta de dhé-ocsaíd sileacain. Go tipiciúil, tá Grianchloch íon gan dath agus trédhearcach, ach glacann sé ar éagsúlacht na dathanna mar thoradh ar iain líocha rian, cuimsiú mín scaipthe nó bunú na n-ionad dath. Le il-airíonna den scoth, cuirtear grianchloch i bhfeidhm go forleathan i bpróisis éagsúla déantúsaíochta leathsheoltóra, agus bíonn tionchar díreach ag a fheidhmíocht agus a cháilíocht ar tháirgeacht, ar fheidhmíocht agus ar chostas feistí leathsheoltóra.

1. Breogán Grianchloch

Tá anbreogáin Grianchlocha úsáidtear chun na hamhábhair sileacain polycrystalline a shealbhú sa phróiseas fáis sileacain monacrystalline ard-teocht. Chun ábhair thacaíochta cobhsaí a chinntiú, ní mór cobhsaíocht ardteochta den scoth a bheith ag breogáin Grianchloch (leáphointe >1700 ℃) agus comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal chun na dúshláin a bhaineann le coinníollacha oibriúcháin ardteochta crua a sheasamh. Ní mór breogáin Grianchloch d'iarratais leathsheoltóra a mhonarú as grianchloch ard-íonachta de ghrád 4N8 nó níos airde. Is féidir leis an roghnú ábhar ciallmhar seo na rioscaí éillithe criostail de bharr deascadh eisíontas ón breogán Grianchloch de bharr ardteochta a laghdú go héifeachtach.

De ghnáth feidhmíonn feadáin foirnéise Grianchloch mar na seomraí imoibrithe ardteochta le haghaidh próisis déantúsaíochta wafer éagsúla mar idirleathadh, ocsaídiú, agus sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Mar sinfeadáin foirnéise Grianchlochgá le friotaíocht ardteochta den scoth chun iad a chosc ó dhífhoirmiú nó a mhaolú de bharr timpeallachtaí ardteochta. I roinnt próisis, tá gá le cóireáil díhiodrocsailiú fiú chun tionchar grúpaí hiodrocsaile ar chobhsaíocht theirmeach a laghdú. Éilíonn monarú feadáin foirnéise Grianchloch freisin ábhar Grianchloch ard-íonachta le hábhar eisíontais mhiotalacha ≤1 ppm chun neamhíonachtaí a chosc ó dheascadh le linn an phróisis imoibrithe agus a dhéanann difear do thorthaí próiseála wafer.

Úsáidtear báid Grianchloch de ghnáth i gcomhar le feadáin foirnéise Grianchloch chun mórán a iompar agus a iompar chuig na céadta sliseog. Dá bhrí sin,báid grianchlochde ghnáth is gá go mbeadh an fhriotaíocht ardteochta den scoth céanna, friotaíocht creimeadh, agus feidhmíocht chobhsaí, iontaofa i dtéarmaí neart meicniúil feadáin foirnéise Grianchloch.

Fáinní fócas Grianchlochatá deartha go speisialta do phróisis eitseála tirim. Go hiondúil déantar iad a shuiteáil timpeall ar sliseog chun plasma a theorannú agus a aonchineálú, rud a chinntíonn go héifeachtach aonfhoirmeacht an ráta eitseála agus an patrún ar an sliseog. Éilíonn an timpeallacht oibriúcháin seo go mbeidh friotaíocht láidir ag fáinní fócais Grianchloch ar chreimeadh plasma, cruinneas tríthoiseach an-ard, agus bailchríoch dromchla réidh chun sceitheadh ​​neamhghnácha nó giniúint cáithníní a chosc.