Na Príomhpharaiméadair in Eitseáil Thirim

Is príomhtheicneolaíocht é eitseáil thirim i bpróisis déantúsaíochta na gcóras micrea-leictrimheicniúla. Bíonn tionchar díreach ag feidhmíocht an phróisis eitseála tirim ar chruinneas struchtúrach agus ar fheidhmíocht oibriúcháin feistí leathsheoltóra. Chun an próiseas eitseála a rialú go beacht, ní mór aird dhlúth a thabhairt ar na paraiméadair lárnacha meastóireachta seo a leanas.

1.Etch Rete

Tagraíonn ráta eitseála do thiús an ábhair eitseáilte in aghaidh an aonaid ama (aonaid: nm/min nó μm/min). Bíonn tionchar díreach ag a luach ar éifeachtúlacht eitseála, agus fadóidh ráta eitseála íseal an timthriall táirgthe. Ba chóir a thabhairt faoi deara go mbíonn tionchar ag paraiméadair trealaimh, airíonna ábhair, agus limistéar eitseála ar an ráta eitseála.

Cóimheas 5.Aspect

Is iad roghnaíocht an tsubstráit agus roghnaíocht maisc an dá chineál roghnaíochta eitseála tirim. Go hidéalach, ba cheart an gás eitseála le roghnaíocht mascara ard agus roghnaíocht foshraitheanna íseal a roghnú, ach i ndáiríre, ní mór an rogha a uasmhéadú trí na hairíonna ábhartha a bhreithniú.

3.Uniformity

Is ionann aonfhoirmeacht laistigh den wafer agus comhsheasmhacht an ráta ag láithreacha éagsúla laistigh den sliseog chéanna, rud a fhágann go mbíonn diallais tríthoiseacha i bhfeistí leathsheoltóra. Cé go dtagraíonn aonfhoirmeacht wafer-go-wafer do chomhsheasmhacht an ráta idir sliseog éagsúla, is féidir a bheith ina chúis le luaineachtaí cruinnis bhaisc-go-baisc.

Toise 4.Criticiúil

Tagraíonn an ghné chriticiúil do pharaiméadair gheoiméadracha na micristruchtúr amhail leithead líne, leithead trinse, agus trastomhas poll.

Cóimheas 5.Aspect

Is é an cóimheas gné, mar a thugann an t-ainm le tuiscint, an cóimheas idir doimhneacht eitseála agus leithead an chró. Is bunriachtanas iad struchtúir chóimheasa gné le haghaidh feistí 3D i MEMS, agus ní mór iad a bharrfheabhsú trí chóimheas gáis agus rialú cumhachta chun díghrádú an bhunráta a sheachaint.

Damáiste 6.Etch

Is féidir le damáiste eitse cosúil le ró-eitseáil, foghearradh agus eitseáil taobh laghdú a dhéanamh ar chruinneas tríthoiseach (m.sh., diall spásála leictreoid, caolú bíomaí cantilever).

Éifeacht 7.Loading

Tagraíonn éifeacht luchtaithe don fheiniméan go n-athraíonn an ráta eitseála go neamhlíneach le hathróga mar achar agus líneáil an phhatrún eitseáilte. I bhfocail eile, beidh difríochtaí sa ráta nó sa mhoirfeolaíocht mar thoradh ar limistéir eitseáilte éagsúla nó línte athrú.

Speisialtóireacht i SemicorexSiC brataitheagusTaC brataitheréitigh graifíte a chuirtear i bhfeidhm i bPróisis Eitseála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála: +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com