Bád sliseog cairbíde sileacain

Taobh thiar de gach próiseas ardteochta i ndéantúsaíocht wafer tá imreoir ciúin fós ríthábhachtach: an bád wafer. Mar an croí -iompróir a théann i dteagmháil go díreach leis an sliseog sileacain le linn na próiseála sliseog, tá baint dhíreach ag a ábhar, a chobhsaíocht agus a ghlaineacht leis an toradh sliseanna deiridh agus leis an gcobhsaíocht próisis. I measc ábhair iompróra éagsúla,Silicon Carbide (SIC)De réir a chéile tá báid ag athsholáthar réitigh thraidisiúnta Grianchloch, agus iad mar an réiteach is fearr le haghaidh ardphróisis agus trealamh ardleibhéil.

Cén fáth a bhfuil báid sliseog sic?

Le cur chun cinn nóid phróisis faoi bhun 7nm agus le leathnú fuinneoga próisis ardteochta, tá báid shliocht thraidisiúnta Grianchloch ag streachailt níos mó agus níos mó i dtéarmaí cobhsaíochta teirmeacha, rialú cáithníní, agus bainistíocht saolré.

Mar sin féin, tá silicon carbide wafer báid, áfach, ag fáil suntasacht de réir a chéile mar gheall ar na buntáistí seo a leanas:

1.Stable ag teochtaí arda:

Tairgeann siad teochtaí oibriúcháin fadtéarmacha de 1350-1600 ° C, ag láimhseáil go héasca próisis phríomhshrutha amhail CVD, idirleathadh, agus anáil. Ní léiríonn fiú nochtadh gairid do theochtaí 1800 ° C aon softening ná dífhoirmiúchán, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach do threalamh ardleibhéil amhail foirnéisí cairbíde sileacain criostail aonair.

2. Leathnú agus cobhsaíocht ard turraing teirmeach:

Le comhéifeacht íseal leathnú teirmeach, is féidir leo méaduithe agus laghduithe teochta tapa a sheasamh, ag íoslaghdú scoilteadh struchtúrach de bharr strus teirmeach. Coinníonn siad moirfeolaíocht agus feidhmíocht den scoth in atmaisféir chasta ardteochta (mar hidrigin, nítrigin, amóinia, agus fluairídí).

Dromchla 3.Clean agus éilliú an -íseal:

Íonacht ardábhair le heisíontais íosta miotail. Garbha dhromchla íseal, a chuireann cosc ​​ar éilliú tánaisteach sliseoga sileacain; Cuireann rialú gharbha dromchla den scoth, le RA faoi bhun 0.1μm, cosc ​​ar shedding na gcáithníní agus comhlíonann sé riachtanais an tseomra glantacháin ar ardphróisis;

4. Múnlú aon phíosa, is féidir struchtúir bháid wafer beacht-mheaisínithe a fhoirmiú go díreach trí mhúnlaPriontáil 3D, deireadh a chur leis an ngá atá le múnlaí, éifeachtúlacht saincheaptha a fheabhsú go suntasach; In éineacht le meaisínithe cúig-ais agus teicneolaíocht gearrtha sreinge, tá fiacla an bháid saor ó bhurr, rud a chuireann cosc ​​ar scratches ar na sliseoga agus a chinntíonn láimhseáil uathoibrithe réidh;

5. Neart ard agus saol fada: 

Tá neart ard-ualach ag bád amháin agus is féidir leis tacú go comhuaineach le mórán de na céadta sliseog 12 orlach. I gcomparáid le báid thraidisiúnta Grianchloch, tá meánré an bháid 5-10 huaire níos faide, rud a laghdaíonn minicíocht athraithe trealaimh agus costas iomlán úinéireachta.

Cás iarratais

Inoiriúnaitheacht leathan nabáid sliseog cairbíde sileacainLeathnaíonn sé a n-iarratas thar an réimse leathsheoltóra go dtí éagsúlacht cásanna próisis ardteochta, lena n-áirítear ábhair fuinnimh nua, déantúsaíocht LED, agus taighde fuinnimh núicléiche.

Tionscal leathsheoltóra

Tá sé oiriúnach do phríomhphróisis amhail ocsaídiú, idirleathadh, sil-leagan CVD, agus ionchlannú ian, rud a chiallaíonn gur iompróir ardteochta fíor-riachtanach é do línte próisis fo-7n.

Tionscal fótavoltach

I dteicneolaíochtaí ceallraí atá ag teacht chun cinn, mar shampla Topcon agus HJT, úsáidtear báid sliseog i bpróisis foirnéise ardteochta amhail LPCVD agus an t-uafás, ag cuidiú le feabhas a chur ar éifeachtúlacht fuinnimh agus ar rátaí comhshó.

Leathsheoltóirí tríú glúin

Maidir le próisis fáis epitaxial Gan agus SIC i LEDanna, tacaíonn siad le foshraitheanna sapphire nó silicon carbide. Seasann siad le gáis chreimneacha ar nós NH₃ agus HCl, ag tacú le monarú feistí cumhachta ardmhinicíochta.

Ábhair Fuinnimh Nua & Taighde Ardán ardteochta ardteochta

Tacaíonn sé le himoibriú shintéirithe na n -ábhar catóide ceallraí litiam agus cóireáil teasa ábhar an tionscail núicléiche, ag comhcheangal friotaíocht teasa, friotaíocht creimthe, agus glaineacht.

Tairgeann Semicorex ard-íonachtBáid Wafer Sic saincheaptha. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort teagmháil a dhéanamh linn.

Teagmháil Fón # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com