Teicneolaíocht Dopála Fz sileacain

Sileacanis ábhar leathsheoltóra é. In éagmais neamhíonachtaí, tá a seoltacht leictreach féin an -lag. Is iad eisíontais agus lochtanna criostail laistigh den chriostal na príomhfhachtóirí a théann i bhfeidhm ar a n -airíonna leictreacha. Ós rud é go bhfuil íonacht criostail aonair sileacain FZ an -ard, chun airíonna leictreacha áirithe a fháil, ní mór roinnt eisíontais a chur leis chun a ghníomhaíocht leictreach a fheabhsú. Is fachtóirí tábhachtacha iad an t -ábhar neamhíonachta agus an cineál san amhábhar polysilicon agus airíonna leictreacha sileacain criostail amháin a théann i bhfeidhm ar a shubstaintí dópála agus ar mhéideanna dópála. Ansin, trí ríomh agus trí thomhas iarbhír, ceartaítear na paraiméadair tarraingthe, agus ar deireadh faightear criostail aonair ardchaighdeáin. Na príomh -mhodhanna dópála doCriostail aonair sileacain fzCuir an croí -dópáil, an dópáil sciath tuaslagáin, an dópáil a líonadh, an dópáil transmutation neodrón (NTD) agus dópáil chéim gháis.

1.

Is é an teicneolaíocht dópála seo ná dopants a mheascadh isteach sa tslat amhábhar iomlán. Tá a fhios againn go ndéantar an tslat amhábhar trí mhodh CVD, mar sin is féidir leis an síol a úsáidtear chun an slat amhábhar a dhéanamh criostail sileacain a bhfuil dopants iontu cheana féin a úsáid. Nuair a bhíonn criostail aonair sileacain á dtarraingt acu, leáitear agus meascadh na criostail síl ina bhfuil cuid mhór dopants cheana féin leis an polycrystalline le íonacht níos airde taobh amuigh de na criostail síl. Is féidir na heisíontais a mheascadh go cothrom isteach sa sileacain criostail aonair trí uainíocht agus corraíl an chrios leá. Mar sin féin, tá friotachas íseal ag an sileacain criostail aonair a tharraingítear ar an mbealach seo. Dá bhrí sin, is gá an teicneolaíocht íonaithe leá leá a úsáid chun tiúchan na ndópálaithe sa tslat amhábhar polacrystalline a rialú chun an fhriotaíocht a rialú. Mar shampla: Chun tiúchan na ndópálaithe sa tslat amhábhar polaimídeach a laghdú, ní mór líon na n -íonú leá crios a mhéadú. Ag baint úsáide as an teicneolaíocht dópála seo, tá sé sách deacair rialú a dhéanamh ar aonfhoirmeacht an fhriotaíochta aiseach an tslat táirge, mar sin ní bhíonn sé oiriúnach ach do bhórón le comhéifeacht mór leithscartha. Toisc go bhfuil an chomhéifeacht deighilte de bhórón i sileacain 0.8, tá an éifeacht deighilte íseal le linn an phróisis dópála agus is furasta an fhriotaíocht a rialú, mar sin tá an modh dopála croí sileacain oiriúnach go háirithe don phróiseas dópála bóróin.

2. Modh dópála sciath réitigh

Mar a thugann an t -ainm le tuiscint, is é an modh sciath réitigh ná tuaslagán a chóta ina bhfuil substaintí dópála ar shlat amhábhar polacrystalline. Nuair a leánn an polycrystalline, galú an tuaslagán, ag meascadh an dopant isteach sa chrios leáite, agus ar deireadh thiar é a tharraingt isteach i gcriostal singil sileacain. Faoi láthair, is tuaslagán eatánóil ainhidriúil de thrio -ocsaíd bóróin (B2O3) nó pentoxide fosfair (P2O5) an príomh -réiteach dópála. Déantar an tiúchan dópála agus an méid dópála a rialú de réir an chineáil dópála agus an fhriotachais sprice. Tá go leor míbhuntáistí ag baint leis an modh seo, mar dheacracht maidir le dopants a rialú go cainníochtúil, deighilt dopant, agus dáileadh míchothrom na ndopants ar an dromchla, agus mar thoradh air sin tá droch -aonfhoirmeacht friotachais.

3. Modh dópála a líonadh

Tá an modh seo níos oiriúnaí do dopants le comhéifeacht deighilte íseal agus luaineacht íseal, amhail GA (k = 0.008) agus i (k = 0.0004). Is é an modh seo poll beag a dhruileáil in aice leis an gcón ar an slat amhábhair, agus ansin GA a phlocáil nó isteach sa pholl. Ós rud é go bhfuil an chomhéifeacht deighilte den dopant an -íseal, is ar éigean a laghdóidh an tiúchan sa chrios leá an iomarca le linn an phróisis fáis, mar sin tá aonfhoirmeacht fhriotaíocht aiseach an tslat sileacain criostail amháin go maith. Úsáidtear sileacain criostail aonair ina bhfuil an dopant seo go príomha chun brathadóirí infridhearg a ullmhú. Dá bhrí sin, le linn an phróisis líníochta, tá na riachtanais rialaithe próisis an -ard. Lena n -áirítear amhábhair pholaimídeacha, gás cosanta, uisce dí -ianaithe, glanadh leacht creimneach, íonacht na ndópán, etc. Cosc a chur ar tarlú an chorna, titim sileacain, etc.

4. Modh Dópála Trasghluaiseachta Neodrón (NTD)

Dópáil transmutation neodrón (NTD go gairid). Is féidir le húsáid na teicneolaíochta dopála ionradaíochta neodrón (NTD) an fhadhb a bhaineann le friotachas míchothrom a réiteach i gcriostail aonair de chineál N. Tá thart ar 3.1% den 30SI iseatóp i sileacain nádúrtha. Is féidir na iseatóipí 30SI seo a thiontú ina 31p tar éis neodróin theirmeacha a ionsú agus leictreon a scaoileadh.

Leis an imoibriú núicléach a dhéanann fuinneamh cinéiteach neodróin, téann na hadaimh 31SI/31P i bhfad ón suíomh laitíse bunaidh, rud a chruthaíonn lochtanna laitíse. Tá an chuid is mó de na hadaimh 31p teoranta do na suíomhanna interstitial, áit nach bhfuil fuinneamh gníomhachtaithe leictreonach ag na hadaimh 31p. Mar sin féin, is féidir leis an tslat chriostal ag thart ar 800 ℃ na hadaimh fosfair a thabhairt ar ais chuig a bpoist laitíse bhunaidh. Ós rud é gur féidir leis an gcuid is mó de na neodróin dul tríd an laitíse sileacain go hiomlán, tá an dóchúlacht chéanna ag gach adamh Si neodrón a ghabháil agus adamh fosfair a athrú. Dá bhrí sin, is féidir adaimh 31si a dháileadh go cothrom sa tslat chriostal.

5. Modh dópála céime gáis

Is é an teicneolaíocht dópála seo ná gás so-ghalaithe PH3 (N-Type) nó B2H6 (P-Type) a shéideadh go díreach isteach sa chrios leá. Is é seo an modh dópála is coitianta a úsáidtear. Ní mór an gás dópála a úsáidtear a chaolú le gás AR sula dtabharfar isteach sa chrios leá é. Trí rialú cobhsaí a dhéanamh ar an méid líonta gáis agus neamhaird a dhéanamh ar ghalú fosfair sa chrios leá, is féidir an méid dópála sa chrios leá a chobhsú, agus is féidir friotachas an chrios a leá ag leá sileacón criostail aonair a rialú go cobhsaí. Mar sin féin, mar gheall ar an méid mór de fhoirnéis leá an chrios agus an t-ábhar ard atá ag an ngás cosanta AR, tá gá le réamhdhópáil. Déan an tiúchan den ghás dópála sa fhoirnéis a bhaint amach an luach socraithe a luaithe is féidir, agus ansin déan rialú ar fhriotaíocht an sileacain chriostal aonair.

Cuireann Semicorex ardcháilíocht ar fáilTáirgí sileacain criostail aonairi dtionscal leathsheoltóra. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort teagmháil a dhéanamh linn.

Teagmháil Fón # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com