Baile > Nuacht > Nuacht Tionscal

Cithfholcadáin leathsheoltóra

2025-05-13

Anpláta dáileacháin gáis, dá ngairtear "cithfholcadh" go minic, is féidir go mbeidh sé cosúil le gnáthchrith cithfholctha, ach is féidir leis an bpraghas teacht isteach sna céadta mílte, i bhfad níos airde ná cithfholcadh tipiciúil seomra folctha.


Tá na céadta nó fiú na mílte poill bheaga, eagraithe go beacht i ndromchla an phláta dáilte gáis, atá cosúil le líonra néarach atá fite go mín. Ceadaíonn an dearadh seo rialú cruinn a dhéanamh ar uillinneacha sreafa gáis agus insteallta, ag cinntiú go bhfuil gach cuid den limistéar próiseála sliseog "go cothrom" i ngás próisis. Ní hamháin go gcuireann sé seo le héifeachtúlacht táirgthe ach go bhfeabhsaíonn sé freisin cáilíocht an táirge.


Tá an pláta dáilte gáis lárnach do phríomhphróisis amhail glanadh, eitseáil, agus sil -leagan. Bíonn tionchar díreach aige ar chruinneas na bpróiseas leathsheoltóra agus ar chaighdeán na dtáirgí deiridh, rud a chiallaíonn go bhfuil sé ina chomhpháirt chriticiúil in iarratais éagsúla dáileacháin gáis.

Le linn an phróisis imoibriúcháin wafer, dromchla anceann cithtá sé clúdaithe go dlúth le micropores (cró 0.2-6 mm). Tríd an struchtúr cainéal agus an cosán gáis atá deartha go beacht, ní mór don ghás próisis speisialta dul trí na mílte poill bheaga ar an bpláta gáis aonfhoirmeach agus ansin é a thaisceadh go cothrom ar dhromchla an tsliocht. Ní mór don chiseal scannáin i réimsí éagsúla den sliseog a chinntiú go bhfuil aonfhoirmeacht agus comhsheasmhacht ard ann. Dá bhrí sin, chomh maith le riachtanais an -ard maidir le glaineacht agus friotaíocht creimthe, tá riachtanais dhiana ag an bpláta dáilte gáis maidir le comhsheasmhacht cró na bpoill bheaga ar an bpláta dáilte gáis agus na burrs ar bhalla istigh na bpoill bheaga. Má tá an lamháltas méid agus an caighdeán comhsheasmhachta ró -mhór nó má tá burrs ar aon bhalla istigh, beidh tiús an chiseal scannán taiscthe difriúil, a rachaidh i bhfeidhm go díreach ar thoradh próisis an trealaimh.


Uaireanta is ábhar sobhriste é ábhar an phláta dáilte gáis (mar shampla sileacain criostail aonair, gloine Grianchloch, criadóireacht), atá éasca a bhriseadh faoi ghníomh an fhórsa sheachtraigh. Is poll ultra-dhomhain é freisin laistigh de 50 uair trastomhas an mhicrea-mhír, agus ní féidir an cás gearrtha a bhreathnú go díreach. Ina theannta sin, ní furasta an teas gearrtha a tharchur agus tá sé deacair an bhaint sliseanna a bhaint, agus is furasta an giotán druileála a bhriseadh mar gheall ar bhac sliseanna. Dá bhrí sin, tá sé an -deacair a phróiseáil agus a ullmhúchán a dhéanamh.


Ina theannta sin, i bpróisis plasma-le cúnamh (mar shampla PECVD agus eitseáil tirim), ní mór don cheann cithfholctha, mar chuid den leictreoid, réimse leictreach aonfhoirmeach a ghiniúint trí sholáthar cumhachta RF chun dáileadh aonfhoirmeach plasma a chur chun cinn, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht eitseáil nó sil-leagain.


Ós rud é go bhféadfadh na gáis a úsáidtear sa phróiseas monaraíochta leathsheoltóra a bheith ardteochta, ardbhrú nó creimneach, is iondúil go ndéantar an cithfholcadh as ábhair atá frithsheasmhach in aghaidh creimthe. I dtáirgeadh iarbhír, mar gheall ar chásanna úsáide difriúla agus beachtas iarbhír riachtanach, is féidir an pláta dáilte gáis a roinnt sa dá chatagóir seo a leanas de réir a chomhdhéanamh ábhair:

(1) Pláta dáilte gáis miotail

I measc na n -ábhar a bhaineann le plátaí dáilte gáis miotail tá cóimhiotal alúmanaim, cruach dhosmálta agus miotal nicil, ina bhfuil an t -ábhar pláta dáilte gáis miotail is mó a úsáidtear, mar tá cóimhiotal alúmanaim, toisc go bhfuil seoltacht teirmeach maith agus friotaíocht láidir creimthe ann. Tá sé ar fáil go forleathan agus tá sé éasca a phróiseáil.

(2) Pláta dáilte gáis neamh-mhiotalach

I measc na n-ábhar a bhaineann le plátaí dáilte gáis neamh-mhiotalacha tá sileacain criostail aonair, gloine Grianchloch agus ábhair cheirmeacha. Ina measc, is iad na hábhair cheirmeacha a úsáidtear go coitianta ná CVD-SiC, criadóireacht alúmana, criadóireacht nítríde sileacain, srl.





Cuireann Semicorex ardcháilíocht ar fáilCithfholcadáin cvd sici dtionscal leathsheoltóra. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort teagmháil a dhéanamh linn.


Teagmháil Fón # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept