Téitheoirí ceirmeacha

Sa phróiseas tosaigh (FEL) de dhéantúsaíocht leathsheoltóra, ansliseadNí mór cóireálacha próisis éagsúla a dhéanamh, go háirithe ní mór an sliseog a théamh go teocht áirithe, agus tá riachtanais dhiana ann, toisc go mbíonn tionchar an -tábhachtach ag aonfhoirmeacht na teochta ar thoradh an táirge; Ag an am céanna, ní mór do threalamh leathsheoltóra oibriú i láthair i bhfolús, plasma agus gáis cheimiceacha, a éilíonn úsáid téitheoirí ceirmeacha.Téitheoirí ceirmeachais comhpháirteanna tábhachtacha iad de threalamh sil -leagan tanaí leathsheoltóra tanaí. Úsáidtear iad sa seomra próisis agus déanann siad teagmháil dhíreach leis an sliseog chun an sliseog a iompar agus a chumasú chun teocht próisis chobhsaí agus aonfhoirmeach a fháil agus chun freagairt le cruinneas ard ar dhromchla an tsleasa chun scannáin tanaí a ghiniúint.

Toisc go bhfuil teochtaí arda i gceist leis an trealamh taiscthe tanaí scannáin a úsáideann téitheoirí ceirmeacha, úsáidtear ábhair cheirmeacha atá bunaithe go príomha ar nítríd alúmanaim (ALN) go ginearálta. Toisc go bhfuil insliú leictreach agus seoltacht teirmeach den scoth ag nítríd alúmanaim; Ina theannta sin, tá a chomhéifeacht leathnaithe teirmeach gar do chomhéifeacht sileacain, agus tá friotaíocht plasma den scoth aige, tá sé an -oiriúnach le húsáid mar chomhpháirt trealaimh leathsheoltóra.

Úsáidtear cucks leictreastatach (ESCanna) den chuid is mó i dtrealamh eitseáil, ocsaíd alúmanaim den chuid is mó (Al2O3). Ós rud é go bhfuil téitheoir sa chuck leictreastatach féin freisin, ag glacadh eitseáil tirim mar shampla, is gá an sliseog a rialú ag teocht shonrach sa raon -70 ℃ ~ 100 ℃ chun tréith áirithe eitseáil a choinneáil. Dá bhrí sin, ní mór an sliseog a théamh nó a dhíscaoileadh leis an chuck leictreastatach chun an teocht sliseog a rialú go cruinn. Ina theannta sin, chun aonfhoirmeacht dhromchla an tsleasa a chinntiú, is minic a chaithfidh an chuck leictreastatach an crios rialaithe teochta a mhéadú chun teocht gach crios rialaithe teochta a rialú ar leithligh chun toradh an phróisis a fheabhsú. Ar ndóigh, le forbairt na teicneolaíochta, tá tús curtha leis an idirdhealú idir téitheoirí ceirmeacha traidisiúnta agus cucks leictreastatach. Tá défheidhm ag roinnt téitheoirí ceirmeacha maidir le téamh ardteochta agus asú leictreastatach.

Cuimsíonn an téitheoir ceirmeach bonn ceirmeach a iompraíonn an sliseog agus comhlacht tacaíochta sorcóireach a thacaíonn leis ar chúl. Laistigh nó ar dhromchla an bhonn ceirmeach, chomh maith leis an eilimint friotaíochta (ciseal téimh) le haghaidh teasa, tá leictreoid minicíochta raidió (ciseal minicíochta raidió) ann freisin. D'fhonn téamh agus fuarú tapa a bhaint amach, ba chóir go mbeadh tiús an bhonn ceirmeach tanaí, ach laghdóidh ró -tanaí an déine freisin. Is iondúil go ndéantar corp tacaíochta an téitheoir as ábhar le comhéifeacht leathnaithe teirmeach cosúil leis an mbonn, mar sin is minic a dhéantar an comhlacht tacaíochta as nítríd alúmanaim. Glacann an téitheoir struchtúr uathúil de chomhpháirt seafta (seafta) ag an mbun, ar féidir leis na críochfoirt agus na sreanga a chosaint ó éifeachtaí plasma agus gáis cheimiceacha creimneach. Soláthraítear píopa ionraoin gháis agus asraon seolta teasa sa chomhlacht tacaíochta chun teocht aonfhoirmeach an téitheora a chinntiú. Tá an bonn agus an comhlacht tacaíochta nasctha go ceimiceach le ciseal nasctha.

Cuireann Semicorex ardcháilíocht ar fáilTéitheoirí ceirmeacha. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort teagmháil a dhéanamh linn.

Teagmháil Fón # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com