Sa éiceachóras casta de dhéantúsaíocht leathsheoltóra, tá cobhsaíocht theirmeach mar bhunús cáilíochta. Cibé ag fás tinní Silicon Carbide (SiC) nó ag taisceadh sraitheanna epitaxial le haghaidh feistí cumhachta GaN, ní mór don eilimint téimh cruinneas iomlán a sholáthar. Déantar ár gcuid Téitheoirí Graifít a innealtóireacht le bheith mar chroílár teirmeach iontaofa d’imoibreora, atá deartha chun sláine struchtúrach suas le 2,000 ° C a chothabháil.
1. Sármhaitheas Ábhar: Graphite Isostatach Ard-íonachta
Tosaíonn feidhmíocht téitheoir lena fhoshraith. Ag Semicorex, ní úsáidimid ach na cinn is fearrgraifít iseastatach, déanta faoi bhrú comhionann ó gach taobh lena chinntiú:
- Friotaíocht Leictreach Aonfhoirmeach:Cuireann sé deireadh le "spotaí te" logánta is cúis le fás bearrtha neamhéide.
- Struchtúr Mínghráin:Ceadaíonn neart meicniúil níos fearr do mheaisínithe CNC casta ar chonairí nathair.
- Ábhar Fuinseog Ultra-Íseal:Laghdaíonn próisis íonúcháin eisíontais mhiotalacha go <5 ppm, rud a choscann éilliú.
2. Innealtóireacht Geoiméadrach le haghaidh Aonfhoirmeachta Teirmeach
Gné dár téitheoirí cosán resistive labyrinthine optamaithe go matamaiticiúil chun a chinntiú go bhfuil réimse teasa breá ciorclach:
- Dearadh Conair nathair:Méaduithe ar fhriotaíocht agus ar achar dromchla le haghaidh rampáil teochta tapa agus beacht.
- Armas Gléasta Comhtháite:Poill leamh cruinneas le haghaidh nasc leictreach slán, ag cinntiú friotaíocht íseal teagmhála.
- Siméadracht Theirmeach:Deartha chun céimseata an susceptor a mheaitseáil, ag íoslaghdú grádáin teochta gathacha.
3. Bratuithe Ardchosanta
Tairgeann Semicorex ardfheabhsuithe brataithe chun cosaint a thabhairt ar thimpeallachtaí ceimiceacha ionsaitheach:
- Cumhdach CVD SiC:Séala heirméiteach a chuireann cosc ar "dhustáil carbóin" agus ocsaídiú i dtimpeallachtaí MOCVD.
- Cumhdach CVD TaC:Maidir le fás criostail SiC os cionn 2,000 ° C, ag soláthar friotaíocht gan sárú ar chreimeadh hidrigine.
Sonraíochtaí Feidhmíochta Teicniúla
| Maoin | Luach Tipiciúil | Sochar Tionscail |
|---|---|---|
| Uasteocht Oibriúcháin | Suas go dtí 2,200°C | Tacaíonn sé le gach próifíl fáis SiC/GaN |
| Ábhar Fuinseoige | < 2 - 5 ppm | Cosc ar éilliú leibhéal dopant |
| Dlús | 1.82 - 1.88 g / cm³ | Cobhsaíocht ard meicniúil agus teirmeach |
| Neart Flexural | 50 - 70 MPa | Friotaíocht ar strus meicniúil agus creathadh |
| Seoltacht Theirmeach | 100 - 130 W/m·K | Aistriú teasa éifeachtach agus tapa |
Feidhmchláir Chriticiúla i Fab Leathsheoltóra
- Fás Tinne SiC (PVT):An grádán teochta ingearach beacht a sholáthar a theastaíonn chun sublimation a thiomáint.
- MOCVD & PECVD:Feidhmíonn sé mar phríomhfhoinse teasa d'fhormhaltóirí i leathsheoltóirí cumaisc III-V.
- Anáil Ardteochta:Teas glan, iontaofa chun dopants a ghníomhachtú i bhfeistí cumhachta ardvoltais.
Déantar fíorú tríthoiseach 100% CMM ar gach Téitheoir Grafite chun a chinntiú go bhfuil sé oiriúnach go foirfe i do shamhail imoibreora ar leith. Soláthraímid inrianaitheacht iomlán agus deimhniú ábhartha, ag cinntiú go gcomhlíontar na caighdeáin tionscail is déine. Trí bharrfheabhsú a dhéanamh ar an gcosán resistive, cabhraímid le fabs amanna rothaíochta a laghdú agus líon na sliseog "Príomhghrád" in aghaidh an bhaisc a mhéadú.
